[發(fā)明專利]玻璃基板的切斷裝置、切斷方法和存儲介質(zhì)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880061130.2 | 申請日： | 2018-09-21 |
| 公開（公告）號： | CN111108072B | 公開（公告）日： | 2022-06-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 井村淳史 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/09 | 分類號： | C03B33/09;B23K26/08;B23K26/50 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 安然;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 切斷 裝置 方法 存儲 介質(zhì) | ||
在通過照射光來切斷玻璃基板的裝置中，將該光高效地照射到玻璃基板上的希望形成切斷線的部位。玻璃基板(G)的切斷裝置(100)具備光發(fā)生裝置(1)和光掃描裝置(3)。光發(fā)生裝置(1)輸出切斷玻璃基板(G)的切斷光(L)。光掃描裝置(3)是使切斷光(L)的光點(diǎn)(S)沿著玻璃基板(G)的切斷方向往復(fù)移動的裝置。光掃描裝置(3)將切斷光(L)的光點(diǎn)(S)的往復(fù)移動的范圍限制在玻璃基板(G)的未形成切斷線(C)的龜裂的未切斷區(qū)域。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及玻璃基板的切斷裝置、切斷方法、使計算機(jī)執(zhí)行該切斷方法的程序、以及存儲該程序的存儲介質(zhì)。
背景技術(shù)
以往，已知如下的切斷裝置，其通過沿著玻璃基板的切斷方向掃描激光而產(chǎn)生切斷線，在該切斷線上切斷玻璃基板(專利文獻(xiàn)1)。利用該裝置，能夠比較高速地切斷較大的玻璃基板。
在先技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：日本特開平4-224091號公報
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題
在上述裝置中，在切斷玻璃基板時，僅使激光在玻璃基板上往復(fù)移動，沒有進(jìn)行與照射在玻璃基板上的激光相關(guān)的其他控制。例如，在上述裝置中，無論是否在玻璃基板上形成了切斷線，玻璃基板上的激光的掃描范圍不變。其結(jié)果是，即使對于照射了充分的激光而形成了切斷線的部位，也持續(xù)無謂地照射激光。
本發(fā)明的目的在于，在通過照射光來切斷玻璃基板的裝置中，將該光高效地照射到玻璃基板上的希望形成切斷線的部位。
用于解決課題的手段
以下，作為用于解決課題的手段，對多個方式進(jìn)行說明。這些方式可以根據(jù)需要任意組合。
本發(fā)明的一個方式的玻璃基板的切斷裝置具備光發(fā)生裝置和光掃描裝置。光發(fā)生裝置輸出切斷玻璃基板的切斷光。光掃描裝置是使切斷光的光點(diǎn)沿著玻璃基板的切斷方向往復(fù)移動的裝置。光掃描裝置將切斷光的光點(diǎn)的往復(fù)移動的范圍限制在玻璃基板的未形成切斷線的未切斷區(qū)域。
在上述玻璃基板的切斷裝置中，光掃描裝置將用于切斷玻璃基板的切斷光的光點(diǎn)在玻璃基板上的往復(fù)移動的范圍限制在玻璃基板的未形成切斷線的未切斷區(qū)域。由此，能夠僅對玻璃基板的應(yīng)形成切斷線的區(qū)域照射切斷光。其結(jié)果是，能夠?qū)墓獍l(fā)生裝置發(fā)生的切斷光在不浪費(fèi)該切斷光的能量的情況下高效地照射到玻璃基板的應(yīng)形成切斷線的區(qū)域。
玻璃基板的切斷裝置還可以具備透鏡裝置。透鏡裝置調(diào)節(jié)切斷光的光點(diǎn)在玻璃基板上的尺寸。由此，可將具有能夠高效地形成切斷線的最佳能量密度的切斷光高效地照射到玻璃基板的應(yīng)形成切斷線的區(qū)域。
透鏡裝置也可以使玻璃基板上的切斷光的光點(diǎn)的尺寸根據(jù)未切斷區(qū)域在切斷方向上的長度而發(fā)生變化。由此，可將具有能夠高效地形成切斷線的最佳能量密度的切斷光高效地照射到玻璃基板的應(yīng)形成切斷線的區(qū)域。
透鏡裝置也可以隨著未切斷區(qū)域的切斷方向上的長度變短而增大切斷光的光點(diǎn)的尺寸，由此，能夠抑制切斷光以過剩的能量密度照射到切斷方向上的長度變短的未切斷區(qū)域。
玻璃基板的切斷裝置還可以具備光校正裝置。光校正裝置使切斷光的光點(diǎn)向與切斷方向垂直的校正方向移動。由此，通過使其移動方向偏離切斷方向的切斷光的光點(diǎn)向校正方向移動，能夠使切斷光的光點(diǎn)沿適當(dāng)?shù)那袛喾较蛲鶑?fù)移動。
光掃描裝置也可以隨著切斷線的形成而縮小切斷光的光點(diǎn)的往復(fù)移動的范圍。由此，不會浪費(fèi)切斷光的能量，能夠?qū)ξ辞袛鄥^(qū)域高效地照射切斷光。
本發(fā)明的另一個方式的切斷方法是，通過使切斷玻璃基板的切斷光的光點(diǎn)沿玻璃基板的切斷方向往復(fù)移動，切斷玻璃基板的方法。切斷方法包括以下步驟。
◎輸出切斷光的步驟。
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