[發明專利]用于在多個電子基板上同時分配材料的方法和系統

有效

• 申請號: 201880060860.0
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN111108822B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 休·R·理德;托馬斯·C·普倫蒂斯;斯科特·A·里德
• 申請（專利權）人: 伊利諾斯工具制品有限公司
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 脫穎

1.一種分配材料的方法，包括：

將第一電子基板和第二電子基板傳送到分配位置，所述第一電子基板具有至少兩個相同圖案和至少兩個基準標記，且所述第二電子基板具有至少兩個相同圖案和至少兩個基準標記；

捕獲設置在所述第一電子基板上的所述至少兩個基準標記和設置在所述第二電子基板上的所述至少兩個基準標記的至少一個圖像；

分析所述至少一個圖像以確定所述第一電子基板和所述第二電子基板在X軸方向、Y軸方向和θ方向上的位置；

計算所述第一電子基板和所述第二電子基板的旋轉角度；以及

旋轉第一分配泵陣列以匹配所述第一電子基板的角度和旋轉第二分配泵陣列以匹配所述第二電子基板的角度；

其中，所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列都被安裝在共用機架上，并且其中所述共用機架被配置為在X軸方向和Y軸方向上移動所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列，并且以彼此不同的角度旋轉所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列；

所述方法包括分別利用所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列對所述第一電子基板的所述至少兩個相同圖案和所述第二電子基板的所述至少兩個相同圖案執行同時分配操作。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個包括第一分配泵和第二分配泵，所述第二分配泵與所述第一分配泵間隔開預定距離。

3.如權利要求2所述的方法，進一步包括將材料從所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個的所述第一分配泵和所述第二分配泵分配在所述至少兩個相同圖案中的第一圖案和第二圖案的相應的第一位置上。

4.如權利要求3所述的方法，進一步包括同時將所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個的所述第一分配泵移動到相應的所述第一電子基板和所述第二電子基板的所述第一圖案的第二位置上以及將所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個的所述第二分配泵移動到相應的所述第一電子基板和所述第二電子基板的所述第二圖案的第二位置上，并將材料從所述第一分配泵和所述第二分配泵分配在所述第一圖案和所述第二圖案的相應的第二位置上。

5.如權利要求3所述的方法，其中，從所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個的所述第一分配泵分配材料包括：使所述第一分配泵朝著所述至少兩個相同圖案中的第一圖案降低，并且從所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個的所述第二分配泵分配材料包括：使所述第二分配泵朝著所述至少兩個相同圖案中的第二圖案降低，或者

旋轉所述第一分配泵陣列和所述第二分配泵陣列中的每一個包括：以X-Y調節機構調節所述第二分配泵。

6.如權利要求1所述的方法，其中，所述第一分配泵陣列以單個旋轉自由度與所述第一電子基板對準，所述第二分配泵陣列以單個旋轉自由度與所述第二電子基板對準，并且每個分配泵陣列與其對應的電子基板對準。

7.如權利要求6所述的方法，其中每個分配泵陣列與其他分配泵陣列以不同的角度旋轉以匹配目標電子基板。

8.如權利要求7所述的方法，其中，在分配操作期間，每個分配泵陣列動態地移動以調節多個分配泵陣列之間的相對間隔。