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[發(fā)明專利]脫氣裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201880060606.0 申請日: 2018-06-21
公開(公告)號: CN111093790A 公開(公告)日: 2020-05-01
發(fā)明(設(shè)計)人: 神宮句實子 申請(專利權(quán))人: 株式會社島津制作所
主分類號: B01D19/00 分類號: B01D19/00;B01D61/00;B01D63/06;B01D65/06;G01N30/26
代理公司: 上海立群專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31291 代理人: 楊楷;毛立群
地址: 日本國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 脫氣 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種脫氣裝置,設(shè)置在由送液泵送液的流動相的流通路徑上并用于進行流動相的脫氣,其特征在于,具備:

脫氣流路,由使氣體通過而液體不通過的透氣性管構(gòu)成;

真空腔室,在內(nèi)部收容所述脫氣流路;

真空泵,與所述真空腔室連接,用于對所述真空腔室內(nèi)減壓;

入口流路,用于將流動相向所述脫氣流路引導(dǎo);

出口流路,用于使經(jīng)過所述脫氣流路的流動相流出;

排液流路,與所述出口流路獨立設(shè)置,用于使所述脫氣流路內(nèi)的流動相從所述脫氣流路流出;

下游側(cè)切換部,構(gòu)成為將所述脫氣流路的下游端切換連接于所述出口流路或所述排液流路中的任一個;

控制部,構(gòu)成為控制所述下游側(cè)切換部的動作,在由所述送液泵進行的流動相的送液停止的規(guī)定的時機,將所述脫氣流路的下游端連接于所述排液流路,通過所述排液流路排出所述脫氣流路內(nèi)的流動相。

2.如權(quán)利要求1所述的脫氣裝置,其特征在于,還具備:

大氣釋放流路,其上游端向大氣釋放;

上游側(cè)切換部,構(gòu)成為將所述脫氣流路的上游端切換連接至所述入口流路或所述大氣釋放流路中的任一個,

所述控制部構(gòu)成為,控制所述下游側(cè)切換部與所述上游側(cè)切換部的動作,在將所述脫氣流路的下游端連接于所述出口流路時,將所述脫氣流路的上游端連接于所述入口流路,在將所述脫氣流路的下游端連接于所述排液流路時,將所述脫氣流路的上游端連接于所述大氣釋放流路。

3.如權(quán)利要求1所述的脫氣裝置,其特征在于,還具備:

清洗液供給流路,用于向所述脫氣流路供給清洗液;

上游側(cè)切換部,構(gòu)成為將所述脫氣流路的所述上游端切換連接至所述入口流路或所述清洗液供給流路中的任一個,

所述控制部構(gòu)成為,控制所述下游側(cè)切換部與所述上游側(cè)切換部的動作,在將所述脫氣流路的下游端連接于所述出口流路時,將所述脫氣流路的上游端連接于所述入口流路,在將所述脫氣流路的下游端連接于所述排液流路時,將所述脫氣流路的上游端連接于所述清洗液供給流路。

4.如權(quán)利要求1~3的任一項所述的脫氣裝置,其特征在于,

所述控制部構(gòu)成為,還控制真空泵的動作,在所述脫氣流路內(nèi)的流動相通過所述排液流路排出后,使所述真空泵以規(guī)定時間動作。

5.如權(quán)利要求1~4的任一項所述的脫氣裝置,其特征在于,

所述控制部構(gòu)成為,還控制所述真空泵的動作,在由所述送液泵進行的流動相的送液停止時,使所述真空泵的動作也停止。

6.如權(quán)利要求5所述的脫氣裝置,其特征在于,

還具備流量傳感器,檢測流過所述出口流路的流動相的流量,

所述控制部構(gòu)成為,在由所述流量傳感器檢測的流動相的流量為零時,使所述真空泵的動作停止。

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