[發明專利]紅外線吸收玻璃板及其制造方法、以及固體攝像元件設備

在審

• 申請號: 201880060438.5
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN111108075A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 永野雄太;村田哲哉;中堀宏亮;乾武志;高山佳久
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/247
• 分類號: C03C3/247;H01L27/146;C03C4/08;C03C15/00;C03C19/00;G02B5/22
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種紅外線吸收玻璃板，其特征在于：

具有彼此相反的第一主面和第二主面、以及連結所述第一主面和第二主面的側面，所述紅外線吸收玻璃板由氟磷酸鹽系玻璃構成，所述氟磷酸鹽系玻璃以陽離子％計含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以陰離子％計含有F^－10～90％、O^2－10～90％，所述紅外線吸收玻璃板的厚度為0.2mm以下，在所述側面不存在微裂紋。

2.如權利要求1所述的紅外線吸收玻璃板，其特征在于：

在所述第一主面和第二主面不存在研磨痕跡。

3.如權利要求1或2所述的紅外線吸收玻璃板，其特征在于：

所述第一主面和第二主面的面積為100mm²以上且25000mm²以下。

4.如權利要求1～3中任一項所述的紅外線吸收玻璃板，其特征在于：支點間距離為2.5mm時的3點彎曲強度為35N/mm²以上。

5.如權利要求1或2所述的紅外線吸收玻璃板，其特征在于：

所述第一主面和第二主面的面積為1mm²以上且小于1000mm²。

6.如權利要求1～5中任一項所述的紅外線吸收玻璃板，其特征在于：其用于固體攝像元件設備。

7.一種紅外線吸收玻璃板的陣列，其特征在于：

具有支撐體和以矩陣狀配置在所述支撐體上的權利要求1～6中任一項所述的多個紅外線吸收玻璃板。

8.一種紅外線吸收玻璃板的制造方法，其用于制造權利要求1～6中任一項所述的紅外線吸收玻璃板，該制造方法的特征在于，包括：

對由氟磷酸鹽系玻璃構成的板狀的玻璃母材進行物理研磨的研磨工序，所述氟磷酸鹽系玻璃以陽離子％計含有P⁵⁺10～70％、Al³⁺7～50％、Cu²⁺0.1～15％，并且以陰離子％計含有F^－10～90％、O^2－10～90％；和

通過將所述物理研磨后的玻璃母材浸漬于堿性洗劑中來進行蝕刻的蝕刻工序。

9.如權利要求8所述的紅外線吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：在所述研磨工序中，通過所述物理研磨將所述玻璃母材的厚度研磨成超過0.2mm且0.3mm以下。

10.如權利要求8或9所述的紅外線吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：

在所述蝕刻工序中，通過將所述物理研磨后的玻璃母材浸漬于pH為7.1以上的堿性洗劑來進行蝕刻。

11.如權利要求8～10中任一項所述的紅外線吸收玻璃板的制造方法，其特征在于：

所述堿性洗劑含有氨基多羧酸的堿鹽。

12.一種固體攝像元件設備，其特征在于：

具有權利要求1～6中任一項所述的紅外線吸收玻璃板。