[發明專利]針對射束圖像系統的開關矩陣設計

有效

• 申請號: 201880060398.4
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN111095472B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: 王勇新;董仲華;賴瑞霖
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種檢測器，包括：

襯底，包括多個感測元件，所述多個感測元件包括第一元件和第二元件；以及

開關元件，被配置為連接所述第一元件與所述第二元件，

其中所述第一元件被配置為響應于所述第一元件檢測到第一輸入而生成第一信號，并且所述第二元件被配置為響應于所述第二元件檢測到第二輸入而生成第二信號，

其中所述開關元件被配置為將所述第一元件和所述第二元件分組在一起，

其中所述第一輸入是指示射束的第一帶電粒子，并且所述第二輸入是指示所述射束的第二帶電粒子，并且

其中所述檢測器被配置為標識射束斑點的邊界，并且根據所標識的所述射束斑點的所述邊界選擇性地求和所述第一信號和所述第二信號。

2.根據權利要求1所述的檢測器，還包括：

第一輸出信號路徑，連接到所述第一元件；以及

第二輸出信號路徑，連接到所述第二元件，

其中所述開關元件被配置為連接所述第一輸出信號路徑與所述第二輸出信號路徑。

3.根據權利要求1所述的檢測器，還包括：

電路，配置為基于所述第一信號和所述第二信號來控制所述開關元件。

4.根據權利要求1所述的檢測器，還包括：

電路裸片，包括所述開關元件。

5.根據權利要求2所述的檢測器，還包括：

電路裸片，包括所述開關元件、所述第一輸出信號路徑以及所述第二輸出信號路徑。

6.根據權利要求1所述的檢測器，其中所述檢測器包括配置為被分組在第二數目的分組中的第一數目的像素，所述第二數目小于所述第一數目。

7.根據權利要求1所述的檢測器，其中所述射束斑點的所述邊界包括主邊界和次邊界。

8.一種檢測器系統，包括：

檢測器陣列，包括多個感測元件，所述多個感測元件包括第一元件和第二元件；

開關元件，配置為連接所述第一元件與所述第二元件；

電路，配置為響應于所述第一元件檢測到指示射束的第一帶電粒子而生成第一信號，并且響應于所述第二元件檢測到指示所述射束的第二帶電粒子而生成第二信號；以及

控制器，連接到所述電路，

其中所述檢測器陣列被配置為標識射束斑點的邊界，并且根據所標識的所述射束斑點的所述邊界選擇性地求和所述第一信號和所述第二信號。

9.根據權利要求8所述的系統，還包括電路層，所述電路層包括所述開關元件和所述電路。

10.根據權利要求8所述的系統，其中，

所述控制器被配置為基于所述第一元件和所述第二元件中的任何元件的地址來控制所述開關元件。

11.根據權利要求8所述的系統，其中，

所述控制器被配置為基于所述射束來采集圖像，并且基于所述圖像來生成命令信號；并且

所述電路被配置為基于所述命令信號來控制所述開關元件。

12.根據權利要求8所述的系統，其中，

所述檢測器包括配置為被分組在第二數目的分組中的第一數目的像素，所述第二數目小于所述第一數目。

13.根據權利要求12所述的系統，還包括：

信號調節電路陣列；

并行模擬信號處理路徑陣列；

并行模數轉換器陣列；以及

數字控制單元；

其中所述信號調節電路陣列、所述并行模擬信號處理路徑陣列、所述并行模數轉換器陣列、以及所述數字控制單元經由多個通道而被連接到所述檢測器，所述多個通道的數目大于或等于所述第二數目。

14.根據權利要求8所述的系統，其中所述控制器被配置為重寫所述電路的邏輯。