[發明專利]現場可編程檢測器陣列

有效

• 申請號: 201880060358.X
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN111095471B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 王勇新;賴瑞霖;董仲華
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: H01J37/244
• 分類號: H01J37/244;H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種檢測器，包括：

襯底，所述襯底包括多個感測元件和開關區域，所述多個感測元件包括第一元件、第二元件，所述開關區域被配置為連接所述第一元件和所述第二元件，所述開關區域包括在所述第一元件與所述第二元件之間的電荷載流子區域，其中所述第一元件、所述第二元件和所述開關區域沿所述第一元件和所述第二元件被布置的第一方向是連續的，

其中所述第一元件被配置為響應于所述第一元件檢測到第一帶電粒子來生成第一信號，所述第一帶電粒子指示束，并且所述第二元件被配置為響應于所述第二元件檢測到第二帶電粒子來生成第二信號，所述第二帶電粒子指示所述束，并且

其中所述開關區域被配置為基于所述第一信號和所述第二信號被控制。

2.根據權利要求1所述的檢測器，進一步包括：

傳感器管芯，所述傳感器管芯包括所述襯底；以及

電路管芯，所述電路管芯包括被配置為控制所述開關區域的電路。

3.根據權利要求2所述的檢測器，其中被配置為控制所述開關區域的所述電路包括多個電路。

4.根據權利要求2所述的檢測器，其中所述開關區域包括被配置為連接所述第一元件和所述第二元件的開關。

5.根據權利要求1所述的檢測器，其中所述襯底包括被配置為在所述開關區域中輸送電荷載流子的二極管。

6.根據權利要求5所述的檢測器，其中

所述第一元件被配置為響應于所述第一元件接收具有第一預定量的能量的帶電粒子，來生成所述第一信號，并且所述第二元件被配置為響應于接收具有第二預定量的能量的帶電粒子，來生成所述第二信號。

7.根據權利要求6所述的檢測器，其中所述帶電粒子是電子，并且其中所述第一預定量的能量和所述第二預定量的能量兩者是相同的預定量的能量。

8.根據權利要求1所述的檢測器，

其中在厚度方向，所述襯底包括頂部金屬層和底部金屬層，所述頂部金屬層被配置作為檢測表面，并且

其中在截面中，所述頂部金屬層與所述底部金屬層之間的整個面積是電荷載流子區域。

9.根據權利要求8所述的檢測器，其中所述開關區域包括場效應晶體管，并且所述場效應晶體管包括被制備在所述底部金屬層中的柵極、或者被制備在所述底部金屬層中的所述柵極的接觸。

10.一種檢測器系統，包括：

檢測器陣列，所述檢測器陣列包括多個感測元件，所述多個感測元件包括第一元件和第二元件；以及開關區域，被配置為連接所述第一元件和所述第二元件，所述開關區域包括在所述第一元件與所述第二元件之間的電荷載流子區域，其中所述第一元件、所述第二元件和所述開關區域沿所述第一元件和所述第二元件被布置的第一方向是連續的；

電路，被配置為響應于所述第一元件檢測到第一帶電粒子來生成第一信號，并且響應于所述第二元件檢測到第二帶電粒子來生成第二信號，所述第一帶電粒子指示束，所述第二帶電粒子指示所述束；以及

控制器，被連接到所述電路。

11.根據權利要求10所述的系統，其中

所述控制器被配置為基于所述第一元件和所述第二元件中的任何項的地址來控制所述開關區域。

12.根據權利要求10所述的系統，其中

所述控制器被配置為基于所述束來獲取圖像，并且基于所述圖像生成命令信號；并且

所述電路被配置為基于所述命令信號來控制所述開關區域。

13.根據權利要求10所述的系統，其中

所述檢測器陣列包括第一數目的像素，所述第一數目的像素被配置為被分組為第二數目的組，所述第二數目小于所述第一數目。