[發明專利]透射光學系統的檢查裝置及使用該裝置的膜缺陷檢查方法

在審

• 申請號: 201880060324.0
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN111108367A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 吳世珍;李銀珪;李太圭
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/896;G01N21/958
• 代理公司: 北京市中倫律師事務所 11410
• 代理人: 楊黎峰;姜香丹

本發明的實施例所涉及的透射光學系統的檢查裝置包括：光源，用于向檢查對象照射光；虛設結構物，布置在檢查對象與所光源之間，并且包含預定形狀的圖案；以及圖像獲取設備，用于接收經過虛設結構物及檢查對象的光并進行成像。通過虛設結構物，能夠以高可靠性檢測凹凸型缺陷。

技術領域

本發明涉及一種透射光學系統的檢查裝置及使用該檢查裝置的膜缺陷檢查方法。更詳細而言，涉及一種用于收集透射對象的光的透射光學系統的檢查裝置及使用該檢查裝置的膜缺陷檢查方法。

背景技術

相位延遲器、偏光片或相位差膜等各種各樣的光學膜在圖像顯示裝置中被使用。另外，能夠將各種有機和/或無機膜作為圖像顯示裝置的功能層或保護層而插入。

然而，在制造所述光學膜時，起因于外部環境或膜制造裝置等而有可能會發生各種各樣的不良。例如，異物可能會從所述外部環境混入形成光學膜的樹脂組合物，或者在層壓、硬化或剝離等工序中發生氣泡，或者發生如劃傷等物理損壞。在這種情況下，由于上述原因而可能在光學膜的表面產生凹凸、突起等缺陷或不均勻。

在完成所述光學膜的制造之后，將包含多個所述缺陷的產品作為次品除去，并且為此應用缺陷檢測裝置進行檢查工序。

隨著圖像顯示裝置的分辨率增加且薄型化，有必要精密地檢測甚至微小的缺陷。例如，在韓國公開專利第10-2017-0010675號公報中公開了一種光學膜的檢查裝置，但在檢測上述微細缺陷方面存在局限性。

發明內容

技術問題

本發明的目的在于提供一種具有提高的檢測分辨率的透射光學系統的檢查裝置。

本發明的目的是提供一種具有提高的檢測分辨率的膜缺陷檢查方法。

用于解決問題的方案

1、一種透射光學系統的檢查裝置，包括：光源，用于向檢查對象照射光；虛設結構物，布置在所述檢查對象與所述光源之間，并且包含預定形狀的圖案；以及圖像獲取設備，用于接收經過所述虛設結構物及所述檢查對象的光并進行成像。

2、根據上述項目1所述的透射光學系統的檢查裝置，所述檢查對象包含凹凸。

3、根據上述項目2所述的透射光學系統的檢查裝置，所述虛設結構物包括線條圖案或網格圖案。

4、根據上述項目3所述的透射光學系統的檢查裝置，通過所述圖像獲取設備拍攝因所述凹凸而畸變的所述線條圖案或所述網格圖案的圖像。

5、根據上述項目3所述的透射光學系統的檢查裝置，通過所述圖像獲取設備，拍攝在與所述凹凸對應的區域中產生亮度差的所述線條圖案或所述網格圖案的圖像。

6、根據上述項目2所述的透射光學系統的檢查裝置，經過所述虛設結構物、所述凹凸及所述透鏡的光的焦點在所述成像部偏移。

7、根據上述項目1所述的透射光學系統的檢查裝置，所述光源以與所述檢查對象的移動方向成銳角傾斜的方式照射光。

8、一種膜缺陷檢查方法，包括以下步驟：準備包含凹凸的檢查對象及包含預定圖案的虛設結構物；以依次透射所述虛設結構物及所述檢查對象的方式照射光；以及收集透射所述檢查對象的光并獲取所述圖案的圖像。

9、根據上述項目8所述的膜缺陷檢查方法，在所述虛設結構物的與所述凹凸對應的區域中通過所述圖案的畸變的圖像或亮度差來檢測所述凹凸。

發明效果

在根據本發明的實施例的透射光學系統的檢查裝置中，能夠在檢查對象與光源之間布置虛設結構物。在所述虛設結構物包含線條圖案并且所述對象包含凹凸的情況下，能夠獲取由于因所述凹凸而產生的折射所述線條圖案變形或畸變的圖像。由此，在所述對象包含微細凹凸的情況下也能夠有效地識別是否存在缺陷。