[發明專利]傅立葉光譜分析裝置有效
| 申請號： | 201880058911.6 | 申請日： | 2018-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN111094919B | 公開（公告）日： | 2022-04-22 |
| 發明（設計）人： | 鈴木泰幸;中村幸弘;西真志;生田目哲志 | 申請（專利權）人： | 橫河電機株式會社 |
| 主分類號： | G01J3/45 | 分類號： | G01J3/45;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傅立葉 光譜分析 裝置 | ||
1.一種傅立葉光譜分析裝置，其特征在于，包括：
干涉儀，向作為分析對象的試樣照射作為干涉光的干涉圖；
受光部，輸出第一受光信號和第二受光信號，所述第一受光信號是在所述干涉圖透射所述試樣所得到的透射光或者所述干涉圖被所述試樣反射所得到的反射光中包含的波長成分中，接收作為求出光譜的波長帶的第一波長帶的波長成分而得到的，所述第二受光信號是接收與所述第一波長帶不同的第二波長帶的波長成分而得到的；以及
信號處理裝置，使用所述第一受光信號和所述第二受光信號，進行除去所述第一波長帶的波長成分中疊加的因所述試樣的光學特性的時間變化引起的噪聲的處理和通過傅立葉變換處理求出所述第一波長帶的波長成分的光譜的處理，
所述信號處理裝置包括：
噪聲除去部，通過進行從所述第一受光信號中減去所述第二受光信號的處理，進行除去疊加于所述第一受光信號的所述噪聲的處理；以及
傅立葉變換部，對通過所述噪聲除去部的處理除去了噪聲后的所述第一受光信號進行傅立葉變換處理，求出所述第一波長帶的波長成分的光譜，
所述受光部包括：
第一檢測器，與所述第二波長帶的波長成分相比對所述第一波長帶的波長成分的檢測靈敏度相對高；
第二檢測器，與所述第一波長帶的波長成分相比對所述第二波長帶的波長成分的檢測靈敏度相對高，
所述第一檢測器和所述第二檢測器依次配置在所述透射光或反射光的光路上。
2.一種傅立葉光譜分析裝置，其特征在于，具備：
干涉儀，向作為分析對象的試樣照射作為干涉光的干涉圖；
受光部，輸出第一受光信號和第二受光信號，所述第一受光信號是在所述干涉圖透射所述試樣所得到的透射光或者所述干涉圖被所述試樣反射所得到的反射光中包含的波長成分中，接收作為求出光譜的波長帶的第一波長帶的波長成分而得到的，所述第二受光信號是接收與所述第一波長帶不同的第二波長帶的波長成分而得到的；以及
信號處理裝置，使用所述第一受光信號和所述第二受光信號，進行除去所述第一波長帶的波長成分中疊加的因所述試樣的光學特性的時間變化引起的噪聲的處理和通過傅立葉變換處理求出所述第一波長帶的波長成分的光譜的處理，
所述信號處理裝置包括：
傅立葉變換部，對所述第一受光信號和所述第二受光信號單獨進行傅立葉變換處理，分別求出第一光譜和第二光譜，
噪聲除去部，通過進行從所述第一光譜中減去所述第二光譜的處理，進行除去疊加于所述第一光譜的噪聲的處理，
所述受光部包括：
第一檢測器，與所述第二波長帶的波長成分相比對所述第一波長帶的波長成分的檢測靈敏度相對高；
第二檢測器，與所述第一波長帶的波長成分相比對所述第二波長帶的波長成分的檢測靈敏度相對高，
所述第一檢測器和所述第二檢測器依次配置在所述透射光或反射光的光路上。
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