[發明專利]真空中的電子槍調整和散熱

有效

• 申請號: 201880058768.0
• 申請日: 2018-08-21
• 公開（公告）號: CN111066117B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: C·費拉里;T·S·比米斯
• 申請（專利權）人: 萬睿視影像有限公司
• 主分類號: H01J37/073
• 分類號: H01J37/073
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 酆迅;鄭振

1.一種真空裝置，其包括：

殼體，其被配置為封閉真空，所述殼體包括外部基座，所述外部基座包括多個開口；

內部基座，其在所述殼體內；以及

多個可調整支撐組件，其將所述內部基座可調整地聯接到所述外部基座，每個所述可調整支撐組件延伸通過所述多個開口之一，每個所述可調整支撐組件包括：

螺紋軸，其沿著縱向軸線延伸并且聯接到所述內部基座；

螺紋孔部件，其與所述螺紋軸螺紋接合并且聯接到所述外部基座，使得所述螺紋孔部件獨立于所述螺紋軸相對于所述外部基座在沿著所述縱向軸線的方向上受到軸向約束；以及

柔性部件，其聯接到所述外部基座和所述螺紋軸并且密封所述開口；

外部基座支撐件，其在所述外部基座的至少一個開口處聯接到所述外部基座；以及

基座蓋，其包括基座蓋開口和基座蓋外圍；

其中：

所述基座蓋外圍的一部分聯接到所述外部基座支撐件；

所述螺紋軸的螺紋部分延伸穿過所述基座蓋開口；以及

所述螺紋孔部件被配置為相對于所述基座蓋可調整地移動所述螺紋軸；

所述螺紋軸包括從所述螺紋軸在徑向上延伸的軸凸緣；

所述軸凸緣包括至少一個對齊銷；

所述基座蓋包括至少一個基座蓋對齊銷孔；以及

所述至少一個對齊銷與所述至少一個基座蓋對齊銷孔可滑動地接合。

2.如權利要求1所述的真空裝置，其中：

所述柔性部件包括在至少一個開口處與所述外部基座相接觸的外圍；

所述真空裝置還包括定位在所述內部基座的表面和所述柔性部件的中心區域的內側之間的間隔物；以及

所述螺紋軸在所述柔性部件的所述中心區域的外側上聯接到所述間隔物，其中所述柔性部件的所述中心區域設置在所述間隔物和所述螺紋軸之間。

3.如權利要求1所述的真空裝置，其中所述柔性部件包括波紋管和隔膜中的至少一個。

4.如權利要求1所述的真空裝置，其中

所述螺紋孔部件包括驅動襯套，所述驅動襯套包括驅動螺母；以及

所述驅動襯套的內螺紋部分包括驅動襯套螺紋，所述驅動襯套螺紋與所述螺紋軸的所述螺紋部分的線性軸螺紋螺紋接合，并且所述驅動襯套的外周與所述基座蓋開口可滑動地接合。

5.如權利要求4所述的真空裝置，其中所述線性軸螺紋的螺紋和所述驅動襯套螺紋的螺距是細的或超細的。

6.如權利要求4所述的真空裝置，其還包括套管軸承，所述套管軸承與所述基座蓋開口可滑動地接合并且與所述驅動襯套可滑動地接合。

7.如權利要求6所述的真空裝置,其還包括至少一個驅動襯套卡環，所述至少一個驅動襯套卡環被配置為在沿著所述螺紋軸的所述縱向軸線的所述方向上相對于所述驅動襯套將所述套管軸承約束在一個位置中。

8.如權利要求6所述的真空裝置,其還包括至少一個套管軸承卡環，所述至少一個套管軸承卡環被配置為在沿著所述螺紋軸的所述縱向軸線的所述方向上相對于所述基座蓋將所述套管軸承約束在一個位置中。

9.如權利要求1所述的真空裝置，其中所述螺紋軸聯接到所述基座蓋，使得所述螺紋軸圍繞所述縱向軸線受到旋轉約束。

10.如權利要求1所述的真空裝置，其還包括被配置為固定所述螺紋軸的位置的鎖緊螺母或墊片。

11.如權利要求1所述的真空裝置，其中所述外部基座支撐件包括開口，所述開口被配置為允許對所述螺紋軸的在所述基座蓋和所述柔性部件之間的區域的訪問。

12.如權利要求1所述的真空裝置，其中所述螺紋軸的螺紋部分與所述螺紋孔部件的螺紋接合的長度是所述螺紋軸的所述螺紋部分的直徑的至少兩倍。