[發明專利]光源裝置、曝光裝置以及光源裝置的判定方法

有效

• 申請號: 201880058704.0
• 申請日: 2018-09-05
• 公開（公告）號: CN111066376B
• 公開（公告）日: 2022-12-23
• 發明（設計）人: 池田富彥;鄉田哲也;小谷弘一
• 申請（專利權）人: 鳳凰電機公司
• 主分類號: H05B47/165
• 分類號: H05B47/165;G03F7/20
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 張黎;龔敏

1.一種光源裝置，具備：

成為光源的放電燈；

判定用電路；以及

反射器容器，安裝有所述放電燈以及所述判定用電路，

所述判定用電路具有：

RC并聯電路，用于檢測所述放電燈是否為正品；以及

熔斷器，為了判別所述放電燈是否為新品，所述熔斷器相對于所述RC并聯電路串聯連接，

在所述RC并聯電路中流過直流的恒流并測定所述判定用電路的兩端電壓，且根據所述兩端電壓的測定值來檢測所述放電燈是否為正品。

2.一種光源裝置，具備：

成為光源的放電燈；

判定用電路；以及

反射器容器，安裝有所述放電燈以及所述判定用電路，

所述判定用電路具有：

RC并聯電路，用于檢測所述放電燈是否為正品；以及

熔斷器，為了判別所述放電燈是否為新品，所述熔斷器相對于所述RC并聯電路并聯連接，

在所述RC并聯電路中流過直流的恒流并測定所述判定用電路的兩端電壓，且根據所述兩端電壓的測定值來檢測所述放電燈是否為正品。

3.根據權利要求1或2所述的光源裝置，其特征在于，

所述熔斷器為溫度熔斷器。

4.一種光源裝置，具備：

成為光源的放電燈；

判定用電路；以及

反射器容器，安裝有所述放電燈以及所述判定用電路，

所述判定用電路具有：

RC并聯電路，用于檢測所述放電燈是否為正品；以及

二極管，為了判別所述放電燈是否為新品，所述二極管相對于所述RC并聯電路串聯連接，

在所述RC并聯電路中流過直流的恒流并測定所述判定用電路的兩端電壓，且根據所述兩端電壓的測定值來檢測所述放電燈是否為正品。

5.一種光源裝置，具備：

成為光源的放電燈；

判定用電路；以及

反射器容器，安裝有所述放電燈以及所述判定用電路，

所述判定用電路具有：

RC并聯電路，用于檢測所述放電燈是否為正品；以及

二極管，為了判別所述放電燈是否為新品，所述二極管相對于所述RC并聯電路并聯連接，

在所述RC并聯電路中流過直流的恒流并測定所述判定用電路的兩端電壓，且根據所述兩端電壓的測定值來檢測所述放電燈是否為正品。

6.根據權利要求1至2以及4至5中任一項所述的光源裝置，其特征在于，

所述判定用電路容納在所述反射器容器內。

7.一種曝光裝置，具備：

權利要求1所述的光源裝置；

框架，將所述光源裝置朝向被照射物安裝；

恒流電源，向所述判定用電路供給電流；

開關，將來自所述恒流電源的所述電流進行接通或斷開；

控制部，使所述開關接通或斷開而對所述判定用電路通電給定時間；

測定部，對通電中的所述判定用電路的兩端電壓至少測定兩次；

比較部，對第一次測定時的所述兩端電壓與第二次測定時的所述兩端電壓之差、和用于判定放電燈是否為正品的給定的上限值以及下限值的電壓范圍進行比較；

判定部，接收來自所述比較部的信號，在所述兩端電壓之差處于給定電壓范圍內的情況下判定為檢查對象放電燈是正品，在所述兩端電壓之差處于給定電壓范圍外的情況下判定為檢查對象放電燈不是正品；

舊品判定用恒流電源，在判定所述放電燈是否為正品后，向所述判定用電路供給電流；

舊品判定用開關，使來自所述舊品判定用恒流電源的所述電流接通或斷開；

舊品判定用控制部，使所述舊品判定用開關接通或斷開而對所述判定用電路進行通電；

舊品判定用測定部，測定通電中的所述判定用電路的兩端電壓；以及

舊品判定部，根據所測定的兩端電壓是否處于給定的上限值以及下限值的電壓范圍內來判定所述放電燈是新品還是舊品。

8.一種光源裝置的判定方法，包括如下步驟：

在權利要求1所述的光源裝置的所述RC并聯電路中流過直流的恒流給定時間，

將通電中的所述判定用電路的兩端電壓至少測定兩次，

對第一次測定時的所述兩端電壓與第二次測定時的所述兩端電壓之差、和用于判定放電燈是否為正品的給定的上限值以及下限值的電壓范圍進行比較，

在所述兩端電壓之差處于給定電壓范圍內的情況下判定為作為判定對象的所述放電燈是正品，在所述兩端電壓之差處于給定電壓范圍外的情況下判定為作為判定對象的所述放電燈不是正品，

進而，在判定所述放電燈是否為正品后，

對所述判定用電路進行通電，

測定通電中的所述判定用電路的兩端電壓，

在所測定的兩端電壓處于給定的上限值以及下限值的電壓范圍內的情況下判定為作為判定對象的所述放電燈是新品，在所測定的兩端電壓處于給定的上限值以及下限值的電壓范圍外的情況下判定為作為判定對象的所述放電燈是舊品。