[發明專利]頻率基準振蕩器設備和穩定頻率基準信號的方法在審
| 申請號： | 201880056486.7 | 申請日： | 2018-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN111034039A | 公開（公告）日： | 2020-04-17 |
| 發明（設計）人： | A·奧加;A·賈克拉 | 申請（專利權）人： | 京瓷帝基廷公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;B81B3/00;B81B7/00;H03H3/007;H03L1/02;H03L1/04;H03L7/06;H03L7/083 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 酆迅;傅遠 |
| 地址： | 芬蘭*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 頻率 基準 振蕩器 設備 穩定 信號 方法 | ||
1.一種頻率基準振蕩器設備，包括
-第一振蕩器，包括具有第一長期穩定性和第一頻率-溫度翻轉溫度的第一諧振器，所述第一振蕩器能夠提供第一頻率信號，
-第二振蕩器，包括具有遜于所述第一長期穩定性的第二長期穩定性和第二頻率-溫度翻轉溫度的第二諧振器，所述第二振蕩器能夠提供第二頻率信號，
-恒溫控制器，用于將所述第一諧振器的所述溫度基本上調節到所述第一翻轉溫度并將所述第二諧振器的所述溫度基本上調節到所述第二翻轉溫度，以及
-穩定性控制電路，被配置為使用所述第一頻率信號來調節所述第二振蕩器的所述頻率，以提供溫度穩定和長期穩定的輸出頻率信號。
2.根據權利要求1所述的設備，其中所述穩定性控制電路適于使用所述第一頻率信號和利用所述第二頻率信號的反饋回路來調節所述第二振蕩器的所述頻率，從而在所述第二振蕩器的輸出處獲取穩定的所述輸出頻率信號和所述第二頻率信號。
3.根據權利要求1或2所述的設備，其中所述穩定性控制電路在功能上獨立于所述第一諧振器的所述溫度。
4.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述恒溫控制器在功能上獨立于所述第一頻率信號和所述第二頻率信號。
5.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述穩定性控制電路被配置為操作所述第一振蕩器并間歇使用所述第一頻率信號進行所述第二振蕩器的所述調節。
6.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第一諧振器是簡并摻雜的靜電致動的單晶MEMS諧振器。
7.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第二諧振器是簡并摻雜的壓電致動復合的MEMS諧振器，諸如氮化鋁薄膜致動的硅諧振器。
8.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第一振蕩器和/或所述第二振蕩器包括
-諧振器，包括平均摻雜濃度至少為9*1019cm-3的硅摻雜，
-致動器，用于將所述諧振器激發到具有特性頻率-溫度曲線的諧振模式，所述特性頻率-溫度曲線在85℃或更高的翻轉溫度處具有高溫翻轉點。
9.根據權利要求8所述的設備，其中所述諧振器的所述摻雜濃度至少為1.1*1020cm-3并且所述頻率-溫度曲線有兩個翻轉點，其中一個翻轉點是所述高溫翻轉點，另一個翻轉點可選擇地是位于低于85℃的溫度處的低溫翻轉點。
10.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第一翻轉溫度和所述第二翻轉溫度都是85℃或更高。
11.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第二翻轉溫度與所述第一翻轉溫度相差很大，特別地，至少相差5℃。
12.根據權利要求1至8中的任一項所述的設備，其中所述第二翻轉溫度基本等于所述第一翻轉溫度，特別地，最多相差5℃，并且所述恒溫控制器適于將所述第一諧振器和所述第二諧振器的所述溫度基本上調節到相同的溫度。
13.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中當相應載波頻率的所述頻率偏移大于某一頻率，諸如從所述相應載波頻率偏移100Hz時，所述第二振蕩器具有比所述第一振蕩器更低的特性相位噪聲。
14.根據前述權利要求中的任一項所述的設備，其中所述第一諧振器是適于以Lame模式振蕩的板式諧振器或是適于以長度拉伸模式振蕩的梁式諧振器。
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