[發明專利]成像裝置及成像裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201880054716.6
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN111034167B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 永井信之;柳川周作
• 申請（專利權）人: 索尼半導體解決方案公司
• 主分類號: H04N5/225
• 分類號: H04N5/225
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳孟秋

一種成像裝置，設置有透明基板，并且其中，在阻擋雜散光的同時防止基板翹曲。根據本發明的成像裝置設置有傳感器芯片、透明基板、遮光壁以及光學濾光片。關于該成像裝置，固態成像元件布置在傳感器芯片的光接收區域中。關于該成像裝置，透明基板安裝在傳感器芯片的外圍部分上。關于該成像裝置，遮光壁遮蔽傳輸通過透明基板并且隨后入射在光接收區域上的光。光學濾光片設置有遮光壁。

技術領域

本技術涉及成像裝置及成像裝置的制造方法。詳細地，本技術涉及一種遮蔽進入固態成像元件的不需要的光的成像裝置，以及該成像裝置的制造方法。

背景技術

通常，已使用由熱膨脹系數(CTE)與硅的熱膨脹系數接近的玻璃制成的基板來防止基板由于溫度波動引起的翹曲。例如，提出了設置有帶有固態成像元件的半導體芯片，以及玻璃制成的并且粘結至半導體芯片的透明基板的成像裝置(例如，參見專利文獻1)。在該成像裝置中，在基板的端面上形成遮光膜以遮蔽穿過透明基板的不需要的光(雜散光)。

引用列表

專利文獻

專利文獻1：日本專利申請特開第2014-216394號

發明內容

本發明待解決的問題

在上述常規的技術中，因為基板由玻璃制成，可以抑制基板由于溫度波動引起的翹曲。然而，當通過熱處理等形成遮光膜時，存在著熱處理可能引起透明基板的翹曲的可能性。當基板翹曲時，粘結至基板的半導體芯片也會翹曲，固態成像元件的圖像平面變形，圖像數據的圖像質量降低。另一方面，如果不設置遮光膜，基板不會翹曲，但雜散光無法遮蔽。因此，存在難以在遮蔽雜散光的同時防止透明基板翹曲的缺點。

本技術鑒于該情形創建，本技術的目標是在設置有基板的成像裝置中，在遮蔽雜散光的同時防止透明基板的翹曲。

問題的解決方案

本技術致力于解決上述缺點，其第一方面是一種成像裝置，包括：傳感器芯片，在傳感器芯片中，固態成像元件設置在光接收區域中；透明基板，配備在傳感器芯片的外緣部分上；遮光壁，遮蔽穿過透明基板并且進入光接收區域的光；以及光學濾光片，形成在光學濾光片上。

此外，這第一方面可以進一步包括填充在遮光壁與透明基板之間的柔性材料。這防止來自遮光壁與透明基板之間的間隙中的灰塵混入。

另外，在該第一方面中，遮光壁可包括固化的紫外線固化樹脂。這在無需加熱的情況下形成遮光壁。

另外，在該第一方面中，遮光壁可包括固化的熱固性樹脂。這可以容易地形成具有復雜形狀的遮光壁。

另外，在該第一方面中，遮光壁可以具有L形橫截面，并且透明基板的內緣部分可以設置有限制光學濾光片在與傳感器芯片的平面平行的方向移動的梯級。這抑制了光學濾光片的側面與透明基板的側面之間的碰撞。

另外，在該第一方面中，遮光壁可沿與光接收區域垂直的方向突出，并且遮光壁可以在光學濾光片的兩個表面中的光學濾光片的面向光接收區域的表面上形成在配線基板的近處。這通過遮光壁的在與光接收區域垂直的方向上突出的部分遮蔽穿過透明基板并且進入光接收區域的光。

另外，該第一方面還可以包括：鏡筒；以及隔板，該隔板的側面連接至鏡筒的內壁，其中，光學濾光片的兩個表面中的其上未形成遮光壁的表面可以粘接隔板。這消除了光學濾光片與隔板之間的間隙。

本發明的效果

根據本技術，在設置有透明基板的成像裝置中，可以實現在遮蔽雜散光的同時防止基板翹曲的優異效果。注意，這里所描述的效果不必是限制性的，并且本公開描述的任何效果可能會被應用。

附圖說明

圖1是根據本技術的第一實施方式的成像裝置的截面圖的實例。