[發(fā)明專利]在透明或半透明晶片上的缺陷檢測(cè)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880054386.0
• 申請(qǐng)日: 2018-08-23
• 公開（公告）號(hào): CN111033710B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜旭光;永·張;丁翊武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G03F7/20
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種檢測(cè)系統(tǒng)，其包括：

控制器，其包含處理器及與所述處理器電子通信的電子數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元，其中所述處理器經(jīng)配置以執(zhí)行一或多個(gè)軟件模塊，且其中所述一或多個(gè)軟件模塊經(jīng)配置以：

接收三個(gè)裸片的明場(chǎng)圖像，其中所述三個(gè)裸片位于透明或半透明晶片上，且其中所述明場(chǎng)圖像中的每一者包含多個(gè)圖像行及多個(gè)圖像列；

接收所述三個(gè)裸片的暗場(chǎng)圖像，其中所述暗場(chǎng)圖像中的每一者包含多個(gè)所述圖像行及多個(gè)所述圖像列；

針對(duì)所述明場(chǎng)圖像及所述暗場(chǎng)圖像的所述圖像列中的每一者確定第一計(jì)算值，其中所述第一計(jì)算值是基于沿所述圖像列中的至少一者所應(yīng)用的核心大小；

通過從所述圖像列的每一像素的像素強(qiáng)度減去所述第一計(jì)算值來確定第一差值；

將候選像素分類，其中所述候選像素的所述第一差值高于閾值；

確定第二計(jì)算值，其中所述第二計(jì)算值是基于所述核心大小；

通過從所述像素強(qiáng)度減去所述第二計(jì)算值來確定第二差值；及

將包含缺陷的像素分類，其中包含缺陷的所述像素的所述第二差值高于所述閾值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括與所述控制器電子通信的明場(chǎng)成像系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括與所述控制器電子通信的暗場(chǎng)成像系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第一計(jì)算值是移動(dòng)平均數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第二計(jì)算值是局部中位數(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第二計(jì)算值屬于所述候選像素中的每一者，且其中所述第二差值來自所述候選像素中的每一者。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述三個(gè)裸片是相鄰裸片。

8.一種檢測(cè)方法，其包括：

在控制器處接收三個(gè)裸片的明場(chǎng)圖像，其中所述三個(gè)裸片位于透明或半透明晶片上，且其中所述明場(chǎng)圖像中的每一者包含多個(gè)圖像行及多個(gè)圖像列；

在所述控制器處接收所述三個(gè)裸片的暗場(chǎng)圖像，其中所述暗場(chǎng)圖像中的每一者包含多個(gè)所述圖像行及多個(gè)所述圖像列；

使用所述控制器來針對(duì)所述明場(chǎng)圖像及所述暗場(chǎng)圖像的所述圖像列中的每一者確定第一計(jì)算值，其中所述第一計(jì)算值是基于沿所述圖像列中的至少一者所應(yīng)用的核心大小；

使用所述控制器通過從所述圖像列的每一像素的像素強(qiáng)度減去所述第一計(jì)算值來確定第一差值；

使用所述控制器來將候選像素分類，其中所述候選像素的所述第一差值高于閾值；

使用所述控制器來確定第二計(jì)算值，其中所述第二計(jì)算值是基于所述核心大小；

使用所述控制器通過從所述像素強(qiáng)度減去所述第二計(jì)算值來確定第二差值；及

使用所述控制器來將包含缺陷的像素分類，其中包含缺陷的所述像素的所述第二差值高于所述閾值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一計(jì)算值是移動(dòng)平均數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第二計(jì)算值是局部中位數(shù)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一計(jì)算值及所述第二計(jì)算值中的一者是使用低通濾波器的快速傅里葉變換。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第一計(jì)算值及所述第二計(jì)算值中的一者是使用高斯核心的卷積。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第二計(jì)算值屬于所述候選像素中的每一者，且其中所述第二差值來自所述候選像素中的每一者。