[發(fā)明專利]基片處理裝置和基片處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880053792.5
• 申請(qǐng)日: 2018-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN111066126B
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 飯野正;甲斐義廣;德永容一;緒方信博;東島治郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304;H01L21/306
• 代理公司: 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

實(shí)施方式的基片處理裝置包括處理單元(16)、控制部(18)和測(cè)量部(102)。處理單元包括：能夠保持基片并使其旋轉(zhuǎn)的保持部(31)；釋放處理液的噴嘴(41)；和對(duì)噴嘴供給處理液的導(dǎo)電性的配管部(44)。控制部對(duì)處理單元執(zhí)行通過從噴嘴對(duì)由保持部保持并旋轉(zhuǎn)的基片供給處理液來處理基片的液處理。測(cè)量部測(cè)量因處理液在配管部中流動(dòng)而產(chǎn)生的流動(dòng)電流。此外，控制部基于測(cè)量部的測(cè)量結(jié)果來監(jiān)視液處理。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及基片處理裝置和基片處理方法。

背景技術(shù)

一直以來，已知有對(duì)半導(dǎo)體晶片等基片，從配置于基片的上方的噴嘴釋放處理液來處理基片的基片處理裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-092343號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

在這種基片處理裝置中，因處理液在導(dǎo)電性的配管部流動(dòng)而產(chǎn)生被稱為“流動(dòng)電流”的微弱的電流，在現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)于測(cè)量上述流動(dòng)電流以在基片處理中有效加以利用沒有任何考慮。

實(shí)施方式的一方式的目的在于，提供能夠測(cè)量流動(dòng)電流并在基片處理中有效加以利用的基片處理裝置和基片處理方法。

用于解決技術(shù)問題的技術(shù)手段

實(shí)施方式的一方式的基片處理裝置包括處理單元、控制部和測(cè)量部。處理單元包括：保持基片并使其旋轉(zhuǎn)的保持部；釋放處理液的噴嘴；和對(duì)噴嘴供給處理液的導(dǎo)電性的配管部。控制部對(duì)處理單元實(shí)施通過對(duì)由保持部保持并旋轉(zhuǎn)的基片從噴嘴供給處理液以處理基片的液處理。測(cè)量部測(cè)量通過處理液在配管部中流動(dòng)而產(chǎn)生的流動(dòng)電流。此外，控制部基于測(cè)量部的測(cè)量結(jié)果來監(jiān)視液處理。

發(fā)明效果

依照實(shí)施方式的一方式，能夠測(cè)量流動(dòng)電流并在基片處理中有效加以利用。

附圖說明

圖1是表示本實(shí)施方式的基片處理系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示處理單元的概略結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是表示液處理中的一邊使晶片的轉(zhuǎn)速變化一邊測(cè)量出的流動(dòng)電流的值的結(jié)果的曲線圖。

圖4是表示流動(dòng)電流的導(dǎo)通路徑的結(jié)構(gòu)的圖。

圖5是表示流動(dòng)電流信息的一例的圖。

圖6是表示異常檢測(cè)處理的處理順序的流程圖。

圖7是放電檢測(cè)處理的說明圖。

圖8是處理液的置換完成時(shí)刻的檢測(cè)處理的說明圖。

圖9是帶電量推算處理的說明圖。

圖10是表示第2實(shí)施方式的處理單元的結(jié)構(gòu)的圖。

圖11是表示離子化裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖12是表示將離子化裝置用于偽分配端口的除電的情況的例的圖。

圖13是表示第4實(shí)施方式的處理單元的結(jié)構(gòu)的圖。

圖14是表示表面電位計(jì)的表面電位的測(cè)量位置的另一例的圖。

圖15是表示表面電位計(jì)的表面電位的測(cè)量位置的另一例的圖。

圖16是基于表面電位計(jì)的測(cè)量結(jié)果的異常檢測(cè)處理的說明圖。

圖17是基于表面電位計(jì)的測(cè)量結(jié)果的異常應(yīng)對(duì)處理的說明圖。

具體實(shí)施方式