[發明專利]靜電式工件保持方法及靜電式工件保持系統

有效

• 申請號: 201880053586.4
• 申請日: 2018-07-25
• 公開（公告）號: CN111066135B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 尾沢勝
• 申請（專利權）人: 株式會社創意科技
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H02N13/00
• 代理公司: 北京戈程知識產權代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種靜電式工件保持方法，用以通過靜電吸著力將工件保持在靜電吸著部的表面，該靜電吸著部由下列構件所形成：可施加正電壓的一個以上的第一電極、可施加負電壓的一個以上的第二電極、及包覆這些第一與第二電極的介電體，該靜電式工件保持方法具備：

初始化步驟，對所述第一電極施加正電壓，并對所述第二電極施加負電壓；

除電步驟，在所述初始化步驟執行之后，將所述靜電吸著部的表面的電荷除電；

工件設置步驟，在所述除電步驟執行之后，使工件抵接于所述靜電吸著部的表面；

工件吸著步驟，在所述工件設置步驟執行之后，切斷對所述第一電極施加的正電壓以及對所述第二電極施加的負電壓；以及

工件剝離步驟，在所述工件吸著步驟執行之后，對所述第一電極施加正電壓并且對所述第二電極施加負電壓。

2.根據權利要求1所述的靜電式工件保持方法，其中，所述除電步驟以微弱X線照射所述靜電吸著部周圍的氣體，使該氣體離子化，藉以將所述靜電吸著部的表面的電荷除電。

3.根據權利要求1或2所述的靜電式工件保持方法，其中，所述靜電吸著部的第一與第二電極為隔著既定間隔相鄰地排列的平板狀的電極，或配置成隔著既定間隔相互咬合的梳齒狀的電極中的任一者。

4.一種靜電式工件保持系統，具備：靜電吸著部，由可施加正電壓的一個以上的第一電極、可施加負電壓的一個以上的第二電極及包覆這些第一與第二電極的介電體所形成；電源部，可對所述第一電極施加正電壓并對所述第二電極施加負電壓；除電部，將所述靜電吸著部的表面的電荷除電；工件設置部，可將工件抵接于所述靜電吸著部的表面及取出所述工件；以及控制部，控制所述工件設置部、所述除電部及所述電源部；

所述控制部具備：

初始化部，導通所述電源部；

除電驅動部，在所述初始化部動作之后，驅動所述除電部；

工件抵接部，在所述除電驅動部動作之后，驅動所述工件設置部，使工件抵接于所述靜電吸著部的表面；

工件吸著部，在所述工件抵接部動作之后，關斷所述電源部；以及

工件剝離部，在所述工件吸著部動作之后，導通所述電源部，并且驅動所述工件設置部，將工件從所述靜電吸著部取出。

5.根據權利要求4所述的靜電式工件保持系統，其中，所述除電部為于動作時以微弱X線照射所述靜電吸著部周圍的氣體而使該氣體離子化藉以將所述靜電吸著部的表面的電荷除電的靜電除去裝置。

6.根據權利要求4或5所述的靜電式工件保持系統，其中，所述靜電吸著部的第一與第二電極為隔著既定間隔相鄰地排列的平板狀的電極，或配置成隔著既定間隔相互咬合的梳齒狀的電極中的任一者。

7.一種工件保持裝置，將工件吸著于靜電吸著部的表面，該靜電吸著部由下列構件所形成：第一電極、第二電極、及包覆這些第一電極與第二電極的介電體；其中，

所述第一電極與所述第二電極為隔著既定間隔相鄰地排列的平板狀的電極；

在這些第一電極與第二電極的電位維持為零伏特的狀態，第一電極上的靜電吸著部的表面帶電有負電荷，第二電極上的靜電吸著部的表面帶電有正電荷，并且，在第一電極上的工件帶電有正電荷，在第二電極上的工件帶電有負電荷，由此而在使工件內部為零電場的靜電感應狀態下將該工件吸著于靜電吸著部。

8.根據權利要求7所述的工件保持裝置，其中，所述工件通過庫倫力而吸著于靜電吸著部。

9.根據權利要求7所述的工件保持裝置，其中，所述工件為導體或半導體。