[發(fā)明專利]含有固體碳的材料的加工體和其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201880052809.5 | 申請日： | 2018-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN111032931A | 公開（公告）日： | 2020-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 西林良樹;辰巳夏生;濱木健成 | 申請（專利權(quán)）人： | 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;C04B41/80;C04B41/91;C30B33/12 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人： | 王海川;牛嵩林 |
| 地址： | 日本大阪*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 含有 固體 材料 加工 制造 方法 | ||
這種含有固體碳的材料的加工體的制造方法包括：準(zhǔn)備所述含有固體碳的材料的步驟，所述含有固體碳的材料至少具有由固體碳構(gòu)成的表面；和加工所述含有固體碳的材料的步驟。加工所述含有固體碳的材料的步驟包括：通過對所述含有固體碳的材料的所述表面中的所述固體碳進(jìn)行熱處理而形成非金剛石碳的子步驟；和去除所述非金剛石碳的至少一部分的子步驟。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開涉及一種含有固體碳的材料的加工體和其制造方法。本申請要求于2017年8月15日提交的日本專利申請?zhí)?017-156850的優(yōu)先權(quán)。該日本專利申請中記載的所有描述內(nèi)容以引用的方式并入本文中。
背景技術(shù)
加工諸如金剛石的含有固體碳的材料的方法的實(shí)例包括機(jī)械加工方法，如切割、研磨和/或拋光；使用諸如等離子體、離子和/或自由基的激發(fā)物種的化學(xué)加工方法；和熱化學(xué)加工方法，其中將固體碳在金屬固體或金屬膜中固溶或與金屬固體或金屬膜反應(yīng)。
作為機(jī)械加工方法，《日本磨料技術(shù)學(xué)會(huì)雜志》，第53卷，第4期，2009年4月，第242-247頁(非專利文獻(xiàn)1)公開了使用紫外線輔助拋光對PCD(金剛石燒結(jié)體)進(jìn)行超精密加工。作為化學(xué)加工方法，Applied Physics(《應(yīng)用物理》)，第77卷，第4期，2008年4月，第383-389頁(非專利文獻(xiàn)2)公開了使用低頻大氣壓微等離子體射流加工固體材料。New Diamond andFrontier Carbon Technology(《新金剛石與前沿碳技術(shù)》)，第13卷，第1期，2003年1月，第19-30頁(非專利文獻(xiàn)3)公開了使用RIE(反應(yīng)性離子蝕刻)加工單晶金剛石。作為熱化學(xué)加工方法，日本特表昭56-500371號公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)公開了通過使金剛石與由金屬或合金形成的模具接觸而提供的加工。日本特開2006-335591號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)公開了如下的加工，其中在碳材料的處理表面上形成單晶金屬薄膜，隨后進(jìn)行熱處理以使碳材料中的碳與單晶金屬薄膜反應(yīng)，從而使碳作為金屬碳化物在單晶金屬薄膜中擴(kuò)散。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：日本特表昭56-500371號公報(bào)
專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-335591號公報(bào)
非專利文獻(xiàn)
非專利文獻(xiàn)1：《日本磨料技術(shù)學(xué)會(huì)雜志》，第53卷，第4期，2009年4月，第242-247頁。
非專利文獻(xiàn)2：Applied Physics(《應(yīng)用物理》)，第77卷，第4期，2008年4月，第383-389頁。
非專利文獻(xiàn)3：New Diamond and Frontier Carbon Technology(《新金剛石與前沿碳技術(shù)》)，第13卷，第1期，2003年1月，第19-30頁。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本公開的一個(gè)方面的含有固體碳的材料的加工體的制造方法包括：準(zhǔn)備所述含有固體碳的材料的步驟，所述含有固體碳的材料至少具有由固體碳構(gòu)成的表面；和加工所述含有固體碳的材料的步驟，其中加工所述含有固體碳的材料的步驟包括：通過對所述含有固體碳的材料的所述表面中的所述固體碳進(jìn)行熱處理而形成非金剛石碳的子步驟；和去除所述非金剛石碳的至少一部分的子步驟。
根據(jù)本公開的一個(gè)方面的含有固體碳的材料的加工體包含加工表面，所述加工表面的至少一部分由固體碳構(gòu)成，其中：所述含有固體碳的材料的加工體的所述加工表面具有在所述加工表面中形成的小凹凸的最大高度為20μm以下的平滑形狀；或具有如下形狀：其具有在所述加工表面中的平滑表面中形成且具有30μm以上的最小高度的凹凸；并且所述加工表面具有1mm見方以上的尺寸，并且所述加工表面中的拋光損傷點(diǎn)的密度為10個(gè)點(diǎn)/mm2以下。
附圖說明
圖1為示出根據(jù)本公開的一個(gè)方面的含有固體碳的材料的加工體的制造方法的實(shí)例的流程圖。
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