[發明專利]含有固體碳的材料的加工體、其制造方法和其制造裝置

在審

• 申請號: 201880052808.0
• 申請日: 2018-08-13
• 公開（公告）號: CN111032932A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 西林良樹;辰巳夏生;濱木健成
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: C30B33/12
• 分類號: C30B33/12;C04B41/91
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王海川;牛嵩林

1.一種含有固體碳的材料的加工體的制造方法，所述方法包括：

準備所述含有固體碳的材料的步驟，所述含有固體碳的材料至少具有由含有固體碳的材料構成的表面；

形成氣相流體的步驟，所述氣相流體含有對所述固體碳具有活性的活性氣體或活性等離子體中的至少一種；和

通過將所述氣相流體噴射到所述含有固體碳的材料的所述表面的至少一部分上來加工所述含有固體碳的材料的步驟。

2.根據權利要求1所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中當將所述氣相流體噴射到所述含有固體碳的材料的所述表面的至少一部分上時，使所述氣相流體的噴射口和所述含有固體碳的材料相對移動。

3.根據權利要求1或2所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中噴射所述氣相流體的氣氛壓力為0.2atm以上。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述氣相流體為具有300℃以上的溫度的熱流體。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中在從所述噴射口中噴射之前，通過0.2MHz以上且5GHz以下的高頻放電、無線電波電弧放電或直流電弧放電中的至少一種方法來激發所述活性等離子體。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述活性等離子體含有選自由O₂、CO₂、CO、NO₂、N₂O、H₂O和H₂構成的組中的至少任意一者的離子和自由基中的至少任意一者的激發物種。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述活性氣體含有選自由O₂、CO₂、CO、NO₂、N₂O、H₂O和H₂構成的組中的至少任意一種分子。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述氣相流體的噴射口具有小于1cm的直徑。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述含有固體碳的材料至少具有含有SP3鍵合的固體碳或SP2鍵合的固體碳中的至少一種的表面。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述含有固體碳的材料至少具有含有單晶金剛石或多晶金剛石中的至少一種的表面。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法，其中所述含有固體碳的材料至少具有如下表面：

所述表面具有含有單晶金剛石或多晶金剛石中的至少一種的層和含有石墨的層的層壓結構。

12.一種用于根據權利要求1至11中任一項所述的含有固體碳的材料的加工體的制造方法的、含有固體碳的材料的加工體的制造裝置，所述裝置包括：

被構造為保持所述含有固體碳的材料的材料保持部；

被構造為形成所述氣相流體的流體形成部；

包括被構造為噴射所述氣相流體的噴射口的流體噴射部；和

被構造為控制所述含有固體碳的材料或所述噴射口的至少一者的位置的控制部。

13.一種含有固體碳的材料的加工體，所述加工體至少包含由含有固體碳的材料構成的加工表面，

其中：

所述加工表面包括向內凸起的凹部和向外凸起的凸部；并且

當從與所述加工表面的最小二乘平面垂直的方向觀察所述加工表面時，所述凹部的總面積占所述加工表面的總面積的60％以上。