[發明專利]用于用壓力加載應力產生層以改進地引導分離裂紋的設備和方法

有效

• 申請號: 201880052283.0
• 申請日: 2018-08-10
• 公開（公告）號: CN111032269B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 馬爾科·斯沃博達;拉爾夫·里斯克;克里斯蒂安·拜爾;揚·黎克特
• 申請（專利權）人: 西爾特克特拉有限責任公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/53;B23K26/0622;B28D5/00;B23K26/70;B23K26/14;B23K26/146;H01L21/304;H01L21/78;B23K103/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王逸君;周濤

1.一種用于將至少一個固體子層(1)從供體襯底(2)分離的方法，

所述方法至少包括如下步驟：

提供所述供體襯底(2)，

在所述供體襯底(2)的對所述供體襯底(2)軸向限界的表面(5)處產生或設置應力產生層(4)，

將壓力加載裝置(8)的至少一個壓力加載元件(6)壓緊到所述應力產生層(4)的至少一個預先確定的部分處，以將所述應力產生層(4)壓緊到所述表面(5)上，

通過熱加載所述應力產生層(4)將所述固體子層(1)從所述供體襯底(2)分離，由此在所述供體襯底(2)中產生機械應力，其中通過所述機械應力產生用于分離固體子層(1)的裂紋，

其中將所述壓力加載元件(6)在熱加載所述應力產生層(4)期間壓緊到所述應力產生層(4)上。

2.根據權利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述壓力加載元件(6)將壓力施加到所述應力產生層(4)上，所述壓力為至少10N。

3.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

在壓力加載期間所述壓力加載元件(6)面狀地與所述應力產生層(4)接觸。

4.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述至少一個壓力加載元件(6)在邊緣區域中產生壓力，和/或所述至少一個壓力加載元件(6)在中央區域中產生壓力，或者所述至少一個壓力加載元件(6)在所述供體襯底(2)的所述表面的全部平坦部分之上產生壓力，在所述表面上設置有所述應力產生層(4)。

5.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述壓力加載元件(6)可運動地設置并且由于所述應力產生層(4)的熱加載而從所述應力產生層(4)相對于所述供體襯底(2)偏轉，或者

所述供體襯底(2)可運動地設置并且由于所述應力產生層(4)的熱加載而從所述應力產生層(4)相對于所述壓力加載元件(6)偏轉。

6.根據權利要求5所述的方法，

其特征在于，

在超過預先限定的最小力時才進行所述壓力加載元件(6)的偏轉。

7.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

設有多個壓力加載元件(6a，6b，6c)，

其中所述多個壓力加載元件(6a，6b，6c)中的各個壓力加載元件用于施加局部不同的壓力，和/或

具有不同的形狀和/或接觸面尺寸，和/或

能夠不同程度地偏轉，和/或

能夠借助不同的力偏轉。

8.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述至少一個壓力加載元件(6)為了產生預先限定的壓緊壓力變化曲線能夠壓緊到所述應力產生層(4)上，

其中所述壓緊壓力變化曲線至少部段地由壓力施加距所述供體襯底(2)的軸向中央的間距和/或由裂紋擴展速度和/或熱加載和/或由所述供體襯底(2)的材料和/或由所述供體襯底的時效處理改變。

9.根據權利要求1或2所述的方法，

還包括如下步驟：對所述供體襯底(2)進行時效處理，

其中借助于激光束在所述供體襯底(2)的內部中產生改性部(10)，其中通過所述改性部(10)預設剝離區域(12)，沿著所述剝離區域將所述固體子層(1)從所述供體襯底(2)分離。

10.根據權利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述應力產生層(4)具有聚合物材料或者由聚合物材料構成，

其中所述聚合物材料具有低于20℃的玻璃化轉變溫度，并且

其中所述聚合物材料冷卻到低于玻璃化轉變溫度的溫度上，其中通過進行的玻璃化轉變在所述供體襯底(2)中產生機械應力。