[發明專利]磁傳感器

有效

• 申請號: 201880052227.7
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN110998349B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 伊藤吉博
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09;H01L43/08
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉慧群

1.一種磁傳感器，具備：

第一磁阻元件；

第二磁阻元件，與所述第一磁阻元件電連接而構成橋電路；

絕緣層，覆蓋所述第一磁阻元件以及所述第二磁阻元件；以及

第一磁性體構件以及與該第一磁性體構件不同的第二磁性體構件中的至少所述第一磁性體構件，位于所述絕緣層上，

所述第一磁阻元件具有外周緣以及內周緣中的至少所述外周緣，

所述第一磁性體構件從與所述絕緣層正交的方向觀察位于比所述第一磁阻元件的所述外周緣靠內側的區域，

所述第二磁阻元件從與所述絕緣層正交的方向觀察位于比所述第一磁阻元件的所述內周緣靠內側的區域并被所述第一磁性體構件覆蓋，或者位于比所述第一磁阻元件的所述外周緣靠外側的區域并被所述第二磁性體構件覆蓋，

所述第一磁性體構件的形成數、或者所述第一磁性體構件的形成數與所述第二磁性體構件的形成數的合計為兩個以上，

所述第一磁阻元件包含：第一圖案部，從與所述絕緣層正交的方向觀察，位于被所述第一磁性體構件以及所述第二磁性體構件中的相鄰地配置的磁性體構件彼此夾著的區域的內部；以及第二圖案部，位于所述區域的外部，

所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互不同的圖案形狀，使得與所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互相同的圖案形狀的情況相比較，所述第一磁阻元件中的檢測靈敏度被均衡化。

2.一種磁傳感器，具備：

第一磁阻元件；

第二磁阻元件，與所述第一磁阻元件電連接而構成橋電路；

絕緣層，覆蓋所述第一磁阻元件以及所述第二磁阻元件；以及

兩個以上的第一磁性體構件，位于所述絕緣層上，

所述第一磁阻元件具有外周緣以及內周緣，

所述第一磁性體構件從與所述絕緣層正交的方向觀察位于比所述第一磁阻元件的所述外周緣靠內側的區域，

所述第二磁阻元件從與所述絕緣層正交的方向觀察位于比所述第一磁阻元件的所述內周緣靠內側的區域并被所述第一磁性體構件覆蓋，

所述第一磁阻元件包含：第一圖案部，從與所述絕緣層正交的方向觀察，位于被相鄰地配置的所述第一磁性體構件彼此夾著的區域的內部；以及第二圖案部，位于所述區域的外部，

所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互不同的圖案形狀。

3.一種磁傳感器，具備：

第一磁阻元件；

第二磁阻元件，與所述第一磁阻元件電連接而構成橋電路；

絕緣層，覆蓋所述第一磁阻元件以及所述第二磁阻元件；以及

至少一個第一磁性體構件以及至少一個第二磁性體構件，位于所述絕緣層上，

所述第一磁阻元件具有外周緣，

所述第一磁性體構件從與所述絕緣層正交的方向觀察位于比所述第一磁阻元件的所述外周緣靠內側的區域，

所述第二磁阻元件位于比所述第一磁阻元件的所述外周緣靠外側的區域并被所述第二磁性體構件覆蓋，

所述第一磁阻元件包含：第一圖案部，從與所述絕緣層正交的方向觀察，位于被所述第一磁性體構件以及所述第二磁性體構件中的相鄰地配置的磁性體構件彼此夾著的區域的內部；以及第二圖案部，位于所述區域的外部，

所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互不同的圖案形狀。

4.一種磁傳感器，具備：

第一磁阻元件；

第二磁阻元件，與所述第一磁阻元件電連接而構成橋電路；

絕緣層，覆蓋所述第一磁阻元件以及所述第二磁阻元件；以及

至少兩個磁性體構件，位于所述絕緣層上，

所述第二磁阻元件從與所述絕緣層正交的方向觀察被所述至少兩個磁性體構件的至少一部分覆蓋，

所述第一磁阻元件包含：第一圖案部，從與所述絕緣層正交的方向觀察，位于被所述至少兩個磁性體構件中的相鄰地配置的磁性體構件彼此夾著的區域的內部；以及第二圖案部，位于所述區域的外部，

所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互不同的圖案形狀，使得與所述第一圖案部以及所述第二圖案部各自具有相互相同的圖案形狀的情況相比較，所述第一磁阻元件中的檢測靈敏度被均衡化。