[發(fā)明專利]前體薄膜、兩面導(dǎo)電性薄膜的制造方法、觸摸面板傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880052137.8
• 申請(qǐng)日: 2018-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN111051059A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松岡知佳;塚原次郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B32B27/00
• 分類號(hào): B32B27/00;B32B27/30;G06F3/041;G06F3/044
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 張志楠;褚瑤楊

本發(fā)明的課題在于提供一種前體薄膜，其在使用在基板的兩面具有被鍍層前體層的前體薄膜來制造在兩面具有導(dǎo)電層的兩面導(dǎo)電性薄膜的技術(shù)中，能夠形成高精細(xì)的圖案狀被鍍層。并且，提供一種利用上述前體薄膜的兩面導(dǎo)電性薄膜的制造方法。本發(fā)明的前體薄膜，其為用于通過基于紫外線的掩模曝光工序、顯影工序及鍍覆工序而得到兩面導(dǎo)電性薄膜的前體薄膜，上述前體薄膜具有基板、配置于上述基板的兩面的被鍍層前體層及配置于上述被鍍層前體層上的保護(hù)膜，上述基板包含含有芳香環(huán)的樹脂，上述保護(hù)膜包含聚烯烴，保護(hù)膜的厚度為3～25μm。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于制造具有基板及配置于基板的兩面的導(dǎo)電層的兩面導(dǎo)電性薄膜的前體薄膜。并且，本發(fā)明涉及一種使用上述前體薄膜的兩面導(dǎo)電性薄膜的制造方法。并且，本發(fā)明涉及一種觸摸面板傳感器。

背景技術(shù)

在基板上形成有導(dǎo)電層(導(dǎo)電性細(xì)線)的導(dǎo)電性薄膜用于各種用途。近年來，隨著觸摸面板搭載于移動(dòng)電話及便攜式游戲機(jī)等，能夠多點(diǎn)檢測(cè)的靜電電容方式的觸摸面板傳感器用導(dǎo)電性薄膜的需要正在迅速擴(kuò)大。

這種導(dǎo)電層的形成中例如提出有使用被鍍層的方法。

專利文獻(xiàn)1中提出有如下方法：在基板上設(shè)置包含氟類表面活性劑的被鍍層前體層，使用掩模以圖案狀進(jìn)行曝光而形成圖案狀被鍍層之后，在被鍍層上實(shí)施鍍覆處理的方法。根據(jù)該方法，即使在曝光時(shí)使掩模與被鍍層前體層密合也不會(huì)污染掩模，因此能夠形成高精細(xì)的圖案。

以往技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開2016/158669號(hào)說明書

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)課題

在觸摸面板的應(yīng)用領(lǐng)域中，要求更高精度的運(yùn)轉(zhuǎn)，為此需要在1片薄膜的兩面具有導(dǎo)電層的兩面導(dǎo)電性薄膜。如專利文獻(xiàn)1，應(yīng)用鍍覆法來制作兩面導(dǎo)電性薄膜時(shí)，需要在基板的兩面具有被鍍層前體層的前體薄膜，但是要求適于該前體薄膜的高精細(xì)的曝光方法。

在基板的兩面具有被鍍層前體層的前體薄膜中，考慮卷對(duì)卷制造時(shí)，要求防止傳輸輥的污垢的同時(shí)防止掩模的污垢。在基板的兩面具有被鍍層前體層的前體薄膜為將未固化的有機(jī)層設(shè)為最上層的結(jié)構(gòu)，因此即使包含氟類表面活性劑，也認(rèn)為難以同時(shí)防止傳輸輥與掩模的污垢。

因此，本發(fā)明人已經(jīng)制作了在配置于基板的兩面的被鍍層前體層的表面配置有保護(hù)膜的前體薄膜并對(duì)其性能進(jìn)行了研究。另外，該保護(hù)膜需要在規(guī)定的工序之后能夠剝離。

研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)了如下：通過前體薄膜的結(jié)構(gòu)，有時(shí)經(jīng)通過紫外線曝光形成圖案狀被鍍層的工序、顯影工序及鍍覆工序而得到的兩面導(dǎo)電性薄膜的導(dǎo)電性細(xì)線的線寬過粗。另外，通過紫外線曝光將配置于基板的兩面的被鍍層前體層中的一個(gè)制成圖案狀被鍍層時(shí)，導(dǎo)致上述圖案透印到另一個(gè)被鍍層前體層上。

因此，本發(fā)明的課題在于提供一種如下前體薄膜：能夠形成導(dǎo)電性細(xì)線的線寬小的兩面導(dǎo)電性薄膜，并且通過紫外線曝光將配置于基板的兩面的被鍍層前體層中的一個(gè)制成圖案狀被鍍層時(shí)，能夠抑制上述圖案透印到另一個(gè)被鍍層前體層。

并且，本發(fā)明的課題在于提供一種利用上述前體薄膜的兩面導(dǎo)電性薄膜的制造方法。

并且，本發(fā)明的課題在于提供一種通過上述制造方法得到的觸摸面板傳感器。

用于解決技術(shù)課題的手段

本發(fā)明人等的研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)了通過下述規(guī)定的前體薄膜能夠解決上述課題。

〔1〕一種前體薄膜，其為用于通過基于紫外線的掩模曝光工序、顯影工序及鍍覆工序而得到兩面導(dǎo)電性薄膜的前體薄膜，

上述前體薄膜具有基板、配置于上述基板的兩面的被鍍層前體層及配置于上述被鍍層前體層上的保護(hù)膜，