[發(fā)明專利]用于檢查樣品的多通道共焦傳感器和相關(guān)方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201880048331.9 | 申請(qǐng)日： | 2018-07-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110945316B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-11-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 特里斯坦·孔比耶;菲利普·加斯塔爾多 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 統(tǒng)一半導(dǎo)體公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B9/02 | 分類號(hào)： | G01B9/02;G01B11/06;G02B21/00;G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邰鳳珠;劉繼富 |
| 地址： | 法國(guó)蒙特邦*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 檢查 樣品 通道 傳感器 相關(guān) 方法 | ||
1.一種多通道共焦傳感器，其包括至少一個(gè)光源(14)、至少一個(gè)聚焦透鏡布置(10)以及至少一個(gè)光學(xué)檢測(cè)器(25)，
其特征在于，還包括：
-第一光學(xué)集成電路(11)，其布置為將來(lái)自所述至少一個(gè)光源(14)的光束(24)分離成多個(gè)發(fā)射光束，所述多個(gè)發(fā)射光束施加到發(fā)射孔(29)的高密度陣列，
-第二光學(xué)集成電路(20)，其布置為在多個(gè)收集孔(18)上收集來(lái)自待檢查樣品(17)的多個(gè)反射光束并且將所述反射光束傳輸?shù)剿鲋辽僖粋€(gè)光學(xué)檢測(cè)器(25)，
-分束器(22)，其布置為(i)通過(guò)所述至少一個(gè)聚焦透鏡布置(10)將所述發(fā)射光束從所述第一光學(xué)集成電路(11)引導(dǎo)到所述檢查樣品(17)，以及(ii)通過(guò)所述至少一個(gè)聚焦透鏡布置(10)將所述反射光束從所述檢查樣品(17)引導(dǎo)到所述第二光學(xué)集成電路(20)中，
所述第一光學(xué)集成電路(11)包括光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)的陣列，其中，所述光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)包括在光源(14)的光譜范圍內(nèi)的單模波導(dǎo)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中所述第一光學(xué)集成電路(11)包括光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)的陣列，所述發(fā)射通道波導(dǎo)的陣列在光源(14)的光譜范圍內(nèi)基本消色差并且具有形成所述發(fā)射孔(29)的端部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其中所述第一光學(xué)集成電路(11)還包括Y形結(jié)分離器，所述Y形結(jié)分離器在光源(14)的光譜范圍內(nèi)基本消色差。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的傳感器，其中所述第二光學(xué)集成電路(20)包括光學(xué)檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)的陣列，所述光學(xué)檢測(cè)通道波導(dǎo)的陣列在光源(14)的光譜范圍內(nèi)基本消色差并且具有形成收集孔(18)的第一端部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其中所述光學(xué)檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)和光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)分別在收集孔(18)和發(fā)射孔(29)側(cè)具有相同的間隔。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其中所述光學(xué)檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)具有比光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)直徑大的直徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其中所述光學(xué)檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)在收集孔(18)側(cè)具有的接收角大于光學(xué)發(fā)射通道波導(dǎo)(12)在發(fā)射孔(29)側(cè)具有的接收角。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其中所述檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)包括光源(14)的光譜范圍內(nèi)的多模波導(dǎo)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其中所述檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)設(shè)計(jì)為在第二端部上與所述至少一個(gè)光學(xué)檢測(cè)器(25)的檢測(cè)元件的孔和/或像素間距直接或在共軛平面中匹配。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器，其中所述檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)布置為使得所述至少一個(gè)光學(xué)檢測(cè)器(25)位于收集孔(18)處的在檢測(cè)通道波導(dǎo)(19)之間耦合到第二集成電路中的雜散光的視線之外。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的傳感器，其中所述第一光學(xué)集成電路(11)和第二光學(xué)集成電路(20)中的至少一個(gè)包括平面基底上的平面波導(dǎo)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的傳感器，其包括平面基底上形成的第一光學(xué)集成電路(11)和第二光學(xué)集成電路(20)，所述第一光學(xué)集成電路和第二光學(xué)集成電路布置為具有分別面向分束立方體形式的分束器(22)的側(cè)面的邊緣。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的傳感器，其中所述第一光學(xué)集成電路和第二光學(xué)集成電路還包括對(duì)準(zhǔn)光學(xué)通道波導(dǎo)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的傳感器，其中所述第一光學(xué)集成電路(11)和第二光學(xué)集成電路(20)和分束器(22)彼此永久固定。
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