[發明專利]等離子體功率輸送系統的周期間控制系統及其操作方法

有效

• 申請號: 201880045502.2
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN110870039B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: G·J·J·范齊爾
• 申請（專利權）人: 先進能源工業公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉兆君

1.一種功率輸送系統，包括：

發生器，其產生輸出，所述輸出遵循規定的輸出對時間的模式，其中，所述模式通過以下來以一重復周期重復：基于針對所述模式的部分在過去一個或多個重復周期所進行的測量來控制所述模式的相同的部分；以及

周期間控制器，其比較針對給定設定點在過去一個或多個周期的輸出的測量值，并在所述設定點使用過去的測量值來生成當前誤差信號和控制器輸出。

2.根據權利要求1所述的功率輸送系統，其中：所述周期間控制器還基于在當前周期之前的周期取得的對所述重復模式的測量結果與所述當前周期期間對所述重復模式的值的測量結果的組合來控制所述重復的輸出模式。

3.根據權利要求1所述的功率輸送系統，其中，所述重復的輸出模式遵循輸出對時間的規定模式，其中，所述規定模式以重復周期重復，并且其中，在當前周期之前的周期內取得的對所述重復模式的值的測量結果在過去的一個或多個重復周期中出現。

4.根據權利要求3所述的功率輸送系統，還包括：接收多維輸入并產生多維輸出的設備，其中，在所述模式中的特定時間周期內到所述設備的控制輸入的元素與在相同的特定時間周期內來自所述設備的輸出的元素之間的相關性由所述周期間控制器確定并使用。

5.根據權利要求4所述的功率輸送系統，其中，所述控制輸入的元素與所述輸出的元素之間的所述相關性是通過對所述控制輸入進行擾動并觀察對所述擾動的響應來確定的。

6.根據權利要求4所述的功率輸送系統，其中，到所述設備的所述控制輸入以及來自所述設備的所述輸出是多維的，并且其中，在周期性模式中的特定時間周期和鄰近所述特定時間周期的時間周期內的所述控制輸入的元素與所述特定時間周期內來自所述設備的所述輸出的元素之間的所述相關性由所述周期間控制器確定并使用。

7.根據權利要求6所述的功率輸送系統，其中，所述控制輸入的元素與所述輸出的元素之間的所述相關性是通過對所述控制輸入進行擾動并觀察對所述擾動的響應來確定的。

8.根據權利要求1所述的功率輸送系統，其中，所述發生器是單個射頻發生器或直流發生器中的一個，并且所述輸出是電壓、電流和功率中的至少一個。

9.根據權利要求1所述的功率輸送系統，其中，所述發生器包括多個射頻發生器，或者多個直流發生器，或者射頻發生器與直流發生器的組合，并且所述輸出是輸送到等離子體系統的電壓、電流和功率中的至少一個。

10.根據權利要求4所述的功率輸送系統，其中，所述輸出的一個元素是電壓、電流和功率中的一個或其組合，并且所述輸出的另一元素是呈現給所述發生器的阻抗和所述發生器的源阻抗中的一個。

11.根據權利要求6所述的功率輸送系統，其中，所述輸出的一個元素是電壓、電流和功率中的一個或其組合，并且所述輸出的另一元素是呈現給所述發生器的阻抗和所述發生器的源阻抗中的一個。

12.一種功率輸送系統，包括：

與存儲器通信的控制系統，所述控制系統用于產生遵循輸出對時間的規定的模式的輸出，且比較針對給定設定點在過去一個或多個周期的輸出的測量值，并在所述設定點使用過去的測量值來生成當前誤差信號和控制器輸出，

其中，所述模式通過以下來以一重復周期重復：基于針對所述模式的部分在過去一個或多個重復周期所進行的測量來控制所述模式的相同的部分，

其中，通過基于存儲在所述存儲器中的所述輸出的測量結果控制所述規定模式的重復來使所述規定模式以重復周期重復，存儲在所述存儲器中的所述輸出是從輸出對時間的所述規定模式的一個或多個先前重復取得的。

13.根據權利要求12所述的功率輸送系統，其中，所述控制系統將從一個或多個先前重復取得的測量結果與從當前重復取得的測量結果進行組合。