[發明專利]用于薄膜的大樣本分析的系統和方法

有效

• 申請號: 201880044306.3
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN111108369B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: A·富爾曼;T·J·默克爾;C·德拉特雷
• 申請（專利權）人: 伊魯米納公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958;G01B11/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

方法的示例包括將大面積薄膜相對于空間非掃描紅外(IR)輻射源維持在預定角度處。大面積薄膜反射紅外輻射并且大面積薄膜的至少一部分是導電的。預定角度選自約0°至約45°的角度范圍。方法的示例包括：在將大面積薄膜維持在預定角度的同時，利用來自空間非掃描紅外輻射源的紅外輻射直接照射大面積薄膜，并且通過紅外成像系統，對來自大面積薄膜的經反射的紅外輻射進行熱成像，該紅外成像系統具有相對于大面積薄膜以固定角度定位的光軸。固定角度選自在從約0°至約45°的范圍內的角度。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2017年11月13日提交的美國臨時專利申請號62/585,247的優先權，其全部內容通過引用整體并入本文。

背景技術

透明膜是某些電子設備的操作組件，這些電子設備包括液晶顯示器(LCD)、光伏電池、有機發光二極管(OLED)、觸摸屏和數字流體設備。透明膜的一些示例的操作性質可以與透明膜的質量、均質性和/或厚度有關。為了確保透明膜在指定范圍內可操作，可以執行自動檢查。可以通過試驗最終產品來檢查組件；但是，在應用透明膜后不久的生產過程中檢查透明膜可能發現生產質量問題，然后再對不在指定范圍內的透明膜的部件執行附加的生產步驟。在某些情況下，這些透明膜的透明性可能使得對操作性質的快速評估變得難以評估。具有較大面積的透明膜樣本、具有較薄的透明膜的樣本以及當將透明膜沉積在同樣透明的襯底上時，可能增加評估的難度。

發明內容

本文所公開的方法的一個示例包括將大面積薄膜相對于空間非掃描紅外(IR)輻射源維持在預定角度處。大面積薄膜反射紅外輻射，并且大面積薄膜的至少一部分是導電的。預定角度選自在從約0°至約45°的范圍內的角度。方法的示例包括：在將大面積薄膜保持在預定角度處的同時，利用來自空間非掃描紅外輻射源的紅外輻射直接照射大面積薄膜，并且通過紅外成像系統，對來自大面積薄膜的經反射的紅外輻射進行熱成像，該紅外成像系統具有相對于大面積薄膜成固定角度的光軸。固定角度選自在從約0°至約45°的范圍內的角度。

本文所公開的方法的另一示例包括：將具有大面積薄膜的樣本相對于空間非掃描紅外輻射源維持在具有約0°的預定角度的預定位置處。大面積薄膜反射紅外輻射，并且大面積薄膜的至少一部分是導電的。紅外輻射源的IR源寬度是大面積薄膜的物體寬度的至少兩倍。方法的示例包括，在將樣本維持在預定角度處的同時，利用來自空間非掃描紅外輻射源的紅外輻射直接照射大面積薄膜。方法的示例還包括：通過空間非掃描紅外輻射源中的孔，由紅外成像系統從來自大面積薄膜的經反射的紅外輻射中生成光學圖像，該紅外成像系統被定位為通過孔來接收經反射的紅外輻射。

本文所公開的紅外成像系統的一個示例包括用于保持大面積薄膜的樣本臺。大面積薄膜反射紅外輻射并且包括導電的部分?？臻g非掃描紅外輻射源相對于樣本臺以約0°的角度被定位。空間非掃描紅外輻射源具有穿過該空間非掃描紅外輻射源限定的孔。空間非掃描紅外輻射源還具有IR源寬度，IR源寬度是大面積薄膜的物體寬度的至少兩倍。紅外成像系統被定位為通過孔來接收從大面積薄膜反射的紅外輻射。

附圖說明

通過參考下面的詳細描述和附圖，本公開的示例的特征將變得顯而易見，在附圖中，相同的附圖標記對應于相似但可能不相同的組件。為了簡潔起見，具有先前描述的功能的附圖標記或特征可以結合或可以不結合出現它們的其他附圖來描述。

圖1是根據本公開的紅外成像系統的示例的立體前視圖；

圖2是具有如本文所公開的射線跡線的圖1所描繪的紅外成像系統的示例的各部分的示意性前視圖；

圖3是如本文所公開的紅外成像系統的另一示例的示意性前視圖；

圖4是描繪示例理想朗伯型漫射體的輸出射線跡線的示意圖；

圖5A是用于與工作示例1進行比較的、其上沉積有25納米(nm)厚的聚(3,4-乙烯二氧噻吩)聚磺苯乙烯(PEDOT：PSS)的塑料襯底的明視場顯微圖；