[發明專利]再裝填管及單晶的制造方法在審
| 申請號： | 201880043909.1 | 申請日： | 2018-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN110869541A | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發明（設計）人： | 小林拓生;松本克;三田村伸晃;園川將;上杉敏治 | 申請（專利權）人： | 信越半導體株式會社 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 張晶;謝順星 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝填 制造 方法 | ||
1.一種再裝填管，其具備收納原料的圓筒部件、以及對所述圓筒部件的下部的開口部進行開閉的圓錐狀的閥門，其特征在于，
所述圓筒部件在內周面的下端部具有下部圓錐口部且在比所述下端部的所述下部圓錐口部更靠近上方處具有上部圓錐口部，其中，所述下部圓錐口部是內徑朝向下方變小的圓錐狀的開口部，所述上部圓錐口部是內徑朝向下方變小的圓錐狀的開口部，
所述閥門位于所述下部圓錐口部與所述上部圓錐口部之間。
2.根據權利要求1所述的再裝填管，其特征在于，
所述下部圓錐口部的內徑φ1、所述閥門的最外徑φ2、所述上部圓錐口部的內徑φ3滿足φ1>φ2>φ3的關系。
3.根據權利要求1或2所述的再裝填管，其特征在于，
所述圓筒部件和所述閥門為石英制。
4.根據權利要求3所述的再裝填管，其特征在于，
所述圓筒部件和所述閥門為透明石英玻璃制。
5.一種單晶的制造方法，其特征在于，向石英坩堝內投入收納于權利要求1至4中任一項所述的再裝填管的原料，并對該投入的原料進行熔融而成為原料熔液，從該原料熔液中提拉單晶而制造單晶，
在向所述石英坩堝內投入所述原料之前，使所述閥門與所述再裝填管的所述上部圓錐口部接觸而在關閉了該上部圓錐口部的狀態下向所述圓筒部件內填充所述原料，
之后，使所述閥門從所述上部圓錐口部分離而打開所述上部圓錐口部，使所述閥位于所述上部圓錐口部與所述下部圓錐口部之間，從而向所述石英坩堝內投入所述原料。
6.根據權利要求5所述的單晶的制造方法，其特征在于，
在所述石英坩堝內的原料熔液的表面沒有未熔融的原料的狀態下進行使用所述再裝填管的原料投入。
7.根據權利要求5或6所述的單晶的制造方法，其特征在于，
在培育出所述單晶后，通過使用所述再裝填管的原料投入而將原料向所述石英坩堝內進行再裝填，并對下個單晶進行培育，從而從一個石英坩堝中生長多根單晶。
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