[發明專利]真空閥

有效

• 申請號: 201880043152.6
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN110809685B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: A·施恩莫塞爾;A·加勒;M·茲卡爾
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16K15/03;F16K37/00;F16K3/02;F16K3/04;F16K3/18
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王小東;黃綸偉

1.一種真空閥(1,1',1'',1''')，用于調整體積流或質量流和/或用于氣密中斷流路，該真空閥具有：

?閥座，該閥座具有限定出開口軸線(5)的閥開口(2)和包圍所述閥開口(2)的第一密封面(3)，

?閥關閉件(4)，用于調整所述體積流或所述質量流和/或用于中斷所述流路，所述閥關閉件具有對應于所述第一密封面(3)的第二密封面(6)，

?連接至所述閥關閉件(4)的驅動單元(7)，所述驅動單元被設計成，使得所述閥關閉件(4)

°能按規定改變和調節以提供相應的閥開啟狀態，并且

°能從開啟位置(O)移動到關閉位置(G)并且回移，所述閥關閉件(4)在所述開啟位置中至少部分放開所述閥開口(2)，所述第二密封面(6)在所述關閉位置中被壓向所述第一密封面(3)且氣密關閉所述閥開口(2)，

其特征是，所述真空閥(1,1',1'',1''')具有至少一個聲學傳感器(10,10',10'',10''')，其中所述聲學傳感器(10,10',10'',10''')被設計和布置成，借助所述聲學傳感器(10,10',10'',10''')能作為測量信號產生關于在所述真空閥(1,1',1'',1''')的至少一個部件內出現的結構聲波，并且

所述真空閥(1,1',1'',1''')具有處理和控制單元，該處理和控制單元至少被設計用于處理所述測量信號，并且被設計用于，以用于在所述開啟位置(O)和所述關閉位置(G)之間調節所述閥關閉件(4)的控制值來控制所述驅動單元(7)，以及用于根據當前所獲得的測量信號自動調整所述控制值。

2.根據權利要求1所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述聲學傳感器(10,10',10'',10''')布置在所述驅動單元(7)上。

3.根據權利要求1或2所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述聲學傳感器(10,10',10'',10''')布置在所述閥關閉件(4)或所述閥座上。

4.根據權利要求1所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述真空閥(1,1',1'',1''')具有閥殼體(24)，所述聲學傳感器(10,10',10'',10''')布置在所述閥殼體(24)上。

5.根據權利要求4所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述處理和控制單元被設立成，使得所獲得的測量信號能借助所述處理和控制單元被處理，并且依據所獲得的所述測量信號能產生用于所述真空閥(1,1',1'',1''')的所述至少一個部件的狀態信息。

6.根據權利要求5所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，借助位于所述第二密封面(6)和所述第一密封面(3)之間的密封裝置(23)氣密關閉所述閥開口(2)，并且提供與所述驅動單元(7)、所述第一密封面或所述第二密封面、所述密封裝置(23)和/或所述閥殼體(24)的機械完整性和/或結構完整性相關的狀態信息。

7.根據權利要求1所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述處理和控制單元設計用于基于在規定期間內的所述測量信號的獲知來提供頻譜。

8.根據權利要求1所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述處理和控制單元被設計用于基于與一個或多個測量頻率相關的測量信號的分析來提供關于造成相應測量值頻率的結構聲波的定位的輸出信號。

9.根據權利要求1所述的真空閥(1,1',1'',1''')，其特征是，所述處理和控制單元具有如此設立的監測功能，在其執行時，

?所述測量信號在所述閥開啟狀態發生變化期間被獲得，

?基于所獲得的所述測量信號和與之相關的理論測量信號的比較推導出用于所述真空閥(1,1',1'',1''')的至少一個部件的當前功能狀態。