[發明專利]高效太陽能電池的制造方法

有效

• 申請號: 201880042175.5
• 申請日: 2018-04-20
• 公開（公告）號: CN110785856B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 渡部武紀;橋上洋;大塚寬之
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

1.一種太陽能電池的制造方法，其包括：在硅半導體基板上形成pn結的工序、在所述硅半導體基板的至少一個主表面上制膜氧化鋁膜的工序，所述太陽能電池的制造方法的特征在于，

在所述制膜氧化鋁膜的工序之前，包括在每1立方米的水蒸氣量為20g以上、溫度為60℃以上100℃以下的氣氛下，對所述硅半導體基板進行加熱處理的工序。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，對所述硅半導體基板進行加熱處理的工序中的所述氣氛包含空氣。

3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

在所述制膜氧化鋁膜的工序之前，具有清洗所述硅半導體基板的工序，

對所述硅半導體基板進行加熱處理的工序與清洗所述硅半導體基板的工序之后的干燥工序同時進行。