[發(fā)明專利]處理玻璃基材表面的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880040340.3
• 申請(qǐng)日: 2018-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110831754A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林秀樹(shù);水嶋康之;中西久典
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號(hào): B32B3/02
• 分類號(hào): B32B3/02;B32B3/10;C03C15/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張璐;項(xiàng)丹

1.一種用于制造玻璃基材的方法，所述玻璃基材具有在其相對(duì)側(cè)上的第一主表面和第二主表面，所述方法包括：

將玻璃基材放置在傳送裝置上并且使第一主表面面向上；以及

在傳送玻璃基材的同時(shí)，

(i)使第二主表面與含氫氟酸(HF)氣體的工藝氣體接觸，所述氫氟酸氣體由常壓等離子體產(chǎn)生，和

(ii)使第二主表面與含HF的水溶液接觸，其中(i)和(ii)以非特定的順序依次進(jìn)行，并且得到表面粗糙度(Ra)不小于0.5nm且不超過(guò)1.5nm的第二主表面。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，所述方法還包括：

用去離子水洗滌第二主表面，清洗第二主表面和干燥第二主表面。

3.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，傳送速度不小于5米/分鐘且不超過(guò)20米/分鐘。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其中，玻璃基材通過(guò)熔合拉制法產(chǎn)生。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，玻璃基材包含無(wú)堿金屬玻璃。

6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其中，在第一步之前，先將玻璃基材加熱到不低于25℃且不超過(guò)70℃的溫度。

7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法，其中，含HF氣體的工藝氣體含有作為載氣的氮?dú)夂蜌鍤庵械闹辽僖环N。

8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的方法，其中，用去離子水洗滌第二主表面包括：同時(shí)洗滌第一主表面，其中，實(shí)施第一步和第二步得到表面粗糙度不小于0.2nm且不超過(guò)0.3nm的第一主表面。