[發(fā)明專利]潔凈室用擦拭布及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880034081.3
• 申請日: 2018-03-23
• 公開（公告）號: CN110678112B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·巴里歐斯;A·巴里歐斯;F·皮薩卡內(nèi);E·辛;C·少瓦那勒特;T·沙諾
• 申請（專利權(quán)）人: 福美泰克國際有限公司
• 主分類號: A47L13/17
• 分類號: A47L13/17;C11D1/12;C11D17/04
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 王穎;沙永生

用于潔凈室環(huán)境或其他類似受控環(huán)境的預(yù)飽和的擦拭布，其包括織造織物，該織造織物結(jié)合了獨特的編織圖案，具有密封的邊緣，僅用超純水(UPW)飽和。

相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求于2017年3月23日提交的序列號為62/475,523的臨時專利申請的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用結(jié)合于此。

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明一般涉及一種用于潔凈室環(huán)境或其他類似受控環(huán)境中的預(yù)飽和的擦拭布，該擦拭布能夠有效地從設(shè)備和工作表面去除污染物，而無需使用揮發(fā)性有機化合物(VOC)，同時表現(xiàn)出低的可釋放顆粒水平。預(yù)飽和的擦拭布由織造織物制成，該織造織物具有獨特的編織圖案，其密封邊緣僅用超純水(UPW)飽和。預(yù)飽和的擦拭布可容納足夠的UPW，以去除表面上的污染物而不會使表面濕潤。關(guān)鍵表面在不使用VOC并且不具有相關(guān)健康和安全風(fēng)險的情況下保持清潔和干燥。

發(fā)明背景

目前，使用100％異丙醇(IPA)作為潤濕劑的預(yù)飽和的擦拭布通常用于清潔潔凈室中的關(guān)鍵表面，例如工作站、工作臺和工具表面，例如加工室內(nèi)部。在使用預(yù)飽和的擦拭布之前，干擦拭布與含有IPA的噴射瓶配合使用。當(dāng)前使用IPA預(yù)飽和的擦拭布的用戶認(rèn)為，這種擦拭布為污染控制提供了一種更方便，更具成本效益的方法。

使用IPA預(yù)飽和的擦拭布的公司報告說，與使用干擦拭布和噴射瓶相比，使用IPA預(yù)飽和的擦拭布具有更好的方案遵循性(可能是出于便利性)，較低的總體擦拭布使用量，較低的揮發(fā)性有機化合物(VOC)水平，減少的火災(zāi)隱患以及擦拭布上潤濕水平更高的重現(xiàn)性。盡管如此，IPA預(yù)飽和擦拭布仍帶有與VOC相關(guān)的健康和安全風(fēng)險，例如易燃性，VOC散逸性排放和人員接觸VOC。

另外，用IPA預(yù)飽和的擦拭布的另一個缺點是它們表現(xiàn)出顯著的可釋放顆粒水平，包括可能高于相應(yīng)的干擦拭布的水平。IPA預(yù)飽和的擦拭布的較高顆粒水平與潤濕劑與擦拭布的長期接觸有關(guān)。在IPA預(yù)飽和的擦拭布的測試過程中發(fā)現(xiàn)的這些較高的顆粒水平可能潛在地表示顆粒暴露水平的增加以及對環(huán)境表面和/或過程的風(fēng)險的提高。

因此，需要一種預(yù)飽和的潔凈室用擦拭布，該擦拭布可以有效清潔關(guān)鍵表面，同時提供比當(dāng)前方法(即使用IPA預(yù)飽和的擦拭布或干擦拭布與含有IPA的噴射瓶配合使用的方法)更高的工藝效益，降低的成本以及增強的環(huán)境健康和安全性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明涉及僅用超純水(UPW)預(yù)飽和的具有密封邊緣的預(yù)飽和的微纖維擦拭布。超純水(UPW或高純水)是經(jīng)過純化達(dá)到非常嚴(yán)格規(guī)格的水。超純水是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的術(shù)語，以強調(diào)以下事實：水被處理到對于所有污染物類型達(dá)到最高純度水平，所述污染物類型包括：有機和無機化合物，溶解物和顆粒物，揮發(fā)性和非揮發(fā)性物質(zhì)，活性和惰性物質(zhì)，親水性和疏水性物質(zhì)，以及溶解氣體。本發(fā)明的擦拭布使?jié)崈羰壹夹g(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)100％無VOC的擦拭，并且完全消除了潔凈室擦拭程序中包括IPA在內(nèi)的易燃溶劑。本發(fā)明的擦拭布由具有獨特織造圖案的微纖維織物構(gòu)成，其允許操作者僅使用UPW將污染物清除，夾帶和去除，同時保持表面清潔和干燥。擦拭布的編織和密封邊緣可抵抗磨損和撕裂，從而減少使用中的顆粒和纖維生成。

本發(fā)明的UPW預(yù)飽和的擦拭布可用于ISO 3級及更高等級的潔凈室中。UPW預(yù)飽和的擦拭布特別適用于清潔平板顯示器廠和水廠中的高真空加工室和機器人，清潔光刻、化學(xué)氣相沉積和計量模塊中的對揮發(fā)性有機化合物(VOC)敏感的工藝設(shè)備，以及從光刻軌道上清潔掉被烘烤在其上的抗蝕劑和顯影劑。UPW預(yù)飽和的擦拭布還可用于敏感組件(如設(shè)備前端模塊，靜電吸盤，VAT閥和氣體分散板)的最終擦拭。UPW預(yù)飽和的擦拭布在設(shè)備的預(yù)防性維護(hù)以及需要消除VOC和易燃溶劑的濕法清潔中也特別有用。潔凈室中的水平表面、不銹鋼推車和工作表面也是使用本發(fā)明的UPW預(yù)飽和的擦拭布的理想場所。