[發(fā)明專利]測(cè)量結(jié)構(gòu)的方法、檢查設(shè)備、光刻系統(tǒng)和器件制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880030364.0
• 申請(qǐng)日: 2018-04-13
• 公開（公告）號(hào): CN110612481A
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·博茲庫爾特;毛瑞特斯·范德查爾;帕特里克·沃納阿;M·J·J·杰克;M·哈伊赫曼達(dá);G·格熱拉;盧卡斯·杰吉·馬赫特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01N21/47;G01N21/956;G03F9/00
• 代理公司: 11021 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 王靜

1.一種確定光刻過程的重疊性能的方法，所述方法包括以下步驟：

(a)獲得已經(jīng)通過所述光刻過程形成的多個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)，每個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)包括在至少第一方向上周期性地布置的一組第一特征和在至少所述第一方向上周期性地布置的一組第二特征，在所述第二特征相對(duì)于所述第一特征的放置中時(shí)每個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)經(jīng)受重疊誤差，

(b)使用檢測(cè)系統(tǒng)來捕獲第一衍射信號(hào)，所述第一衍射信號(hào)包括由所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)子組衍射的輻射的選定部分；

(c)使用所述檢測(cè)系統(tǒng)來捕獲第二衍射信號(hào)，所述第二衍射信號(hào)包括由至少一個(gè)子組的重疊目標(biāo)衍射的輻射的選定部分；

(d)處理從所述第一衍射信號(hào)和第二衍射信號(hào)導(dǎo)出的不對(duì)稱性信息，以至少計(jì)算在至少所述第一方向上的所述重疊誤差的測(cè)量結(jié)果，

其中，除了所述重疊誤差之外，在所述第二特征相對(duì)于所述第一特征的放置中時(shí)所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)已經(jīng)形成有被編程的偏移，每個(gè)子組中的所述被編程的偏移在所述第一方向和第二方向兩者上都不同，所述第一方向和所述第二方向不平行，

并且其中，步驟(d)中的計(jì)算重疊誤差將所述不對(duì)稱性信息與所述被編程的偏移的知識(shí)相結(jié)合，同時(shí)假設(shè)給定目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的不對(duì)稱性不是由于所述第二特征在所述第一方向、第二方向或是兩個(gè)方向上的相對(duì)移位引起的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在步驟(b)中在第一捕獲條件下捕獲所述第一衍射信號(hào)，并且在步驟(c)中在不同于所述第一捕獲條件的第二捕獲條件下捕獲所述第二衍射信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述第一捕獲條件和所述第二捕獲條件在用于目標(biāo)結(jié)構(gòu)的照射和/或檢測(cè)的輻射的波長、偏振和角度分布中的一個(gè)或更多個(gè)上不同。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的方法，其中，在步驟(b)中捕獲的所述第一衍射信號(hào)包括由第一子組的目標(biāo)結(jié)構(gòu)衍射的輻射，并且在步驟(c)中捕獲的所述第二衍射信號(hào)包括由與所述第一子組的目標(biāo)結(jié)構(gòu)不同的第二子組的目標(biāo)結(jié)構(gòu)衍射的輻射。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述第一子組的目標(biāo)結(jié)構(gòu)和所述第二子組的目標(biāo)結(jié)構(gòu)在所述第二方向上的節(jié)距、特征大小、相對(duì)放置和分段中的一個(gè)或更多個(gè)上不同。

6.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的方法，其中，所述第一特征和所述第二特征中的每一個(gè)包括細(xì)長特征，所述細(xì)長特征橫向于所述第一方向延伸并且在所述第二方向上被周期性地分段。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，細(xì)長的所述第一特征和第二特征的分段的周期不同于所述第一特征和第二特征的間隔的周期。

8.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的方法，其中，步驟(d)中的計(jì)算重疊誤差從所述第一衍射信號(hào)導(dǎo)出至少四個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每一個(gè)的第一不對(duì)稱性值，從所述第二衍射信號(hào)導(dǎo)出至少四個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每一個(gè)的第二不對(duì)稱性值，并且至少使用導(dǎo)出的所述第一不對(duì)稱性值和第二不對(duì)稱性值來求解四個(gè)以上未知量的方程，所述未知量中的一個(gè)是在所述第一方向上的重疊誤差的測(cè)量結(jié)果。

9.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的方法，還包括步驟：

(c2)使用所述檢測(cè)系統(tǒng)來捕獲第三衍射信號(hào)，所述第三衍射信號(hào)包括由所述重疊目標(biāo)的至少一個(gè)子組衍射的輻射的選定部分；

并且其中所述步驟(d)包括處理從所述第一衍射信號(hào)、第二衍射信號(hào)和第三衍射信號(hào)導(dǎo)出的不對(duì)稱性信息，以計(jì)算在至少所述第一方向上的所述重疊誤差的測(cè)量結(jié)果。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，在步驟(d)中的計(jì)算重疊誤差使用所述第一衍射信號(hào)來導(dǎo)出至少四個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每個(gè)的不對(duì)稱性值，使用所述第二衍射信號(hào)來導(dǎo)出至少四個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每個(gè)的不對(duì)稱性值，并使用所述第三衍射信號(hào)導(dǎo)出至少三個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每個(gè)的不對(duì)稱性值，并使用八個(gè)以上的所導(dǎo)出的不對(duì)稱性值來求解八個(gè)以上未知量的方程，所述未知量中的一個(gè)是在所述第一方向上的重疊誤差的測(cè)量結(jié)果。