[發明專利]清洗裝置、基板處理裝置、清洗裝置的維護方法、以及計算機可讀取記錄介質

有效

• 申請號: 201880030306.8
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN110651356B
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 磯川英立;稻葉充彥;徐海洋
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種清洗裝置，其特征在于，具備：

可彈性變形的清洗構件；

移動部，該移動部能夠將所述清洗構件按壓于基準構件的表面；

測定部，該測定部測定所述清洗構件對所述基準構件的負載；及

控制部，該控制部能夠基于所述測定部的測定值來控制所述移動部，

在清洗前，所述控制部將所述清洗構件按壓于所述基準構件，在所述測定部的測定值到達規定的重設用負載后，所述控制部使所述清洗構件在從所述基準構件離開的方向上移動，在所述測定部對所述清洗構件的每單位移動量的測定值至少連續兩次彼此相同的時間點，所述控制部進行如下重設動作：設定該時間點的所述清洗構件的位置作為清洗時所述清洗構件的基準位置，并且設定所述時間點的所述測定部的測定值作為清洗時的按壓基準值。

2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，

所述移動部具備：馬達，該馬達能夠被所述控制部控制；及滾珠螺桿，該滾珠螺桿連結于所述馬達的輸出軸。

3.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，

所述控制部基于所述按壓基準值為零時的所述測定部的測定值與目標負載的差來控制所述移動部。

4.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，

進一步具備存儲部，該存儲部存儲數據，

所述控制部將所述基準位置及所述按壓基準值存儲于所述存儲部，并且在所述重設動作后，使所述清洗構件從所述基準位置朝向所述基準構件移動，并且實施以測試負載將所述清洗構件按壓于所述基準構件的按壓動作，并將所述按壓動作完成時的所述測定部的測定值、所述按壓動作從開始至完成的所述清洗構件的移動量、所述按壓動作從開始至完成的經過時間、及所述按壓動作從開始至完成的所述測定部的計測值中的最大值的至少任何一個存儲于所述存儲部。

5.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，

所述清洗構件由圓柱狀的輥清洗構件形成，該輥清洗構件繞中心軸線旋轉且外周面能夠接觸于所述基準構件的所述表面，

所述基準構件由基板形成。

6.如權利要求5所述的清洗裝置，其特征在于，

所述輥清洗構件在隔著所述基板的兩側分別被設為第一輥清洗構件及第二輥清洗構件，

所述控制部在彼此不同的時期實施第一重設動作和第二重設動作，該第一重設動作是關于所述第一輥清洗構件的所述重設動作，該第二重設動作是關于所述第二輥清洗構件的所述重設動作。

7.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，

所述清洗構件由筆型清洗構件形成，該筆型清洗構件繞與所述基準構件的所述表面交叉而延伸的軸線旋轉，且能夠接觸于所述基準構件的所述表面，

所述基準構件由基板或設于與所述基板不同位置的臺座部形成，所述臺座部具有配置于與所述基板的表面相同的位置的表面。

8.一種基板處理裝置，其特征在于，具備：

基板搬送部，該基板搬送部搬送基板；

研磨部，該研磨部研磨所述基板；及

清洗部，該清洗部清洗所述基板，

所述清洗部具有權利要求1所述的清洗裝置。

9.一種清洗裝置的維護方法，該清洗裝置具備：

可彈性變形的清洗構件；

移動部，該移動部能夠將所述清洗構件按壓于基準構件表面；

測定部，該測定部測定所述清洗構件對所述基準構件的負載；及

控制部，該控制部能夠基于所述測定部的測定值來控制所述移動部，

該清洗裝置的維護方法的特征在于，

在清洗前，將所述清洗構件按壓于所述基準構件，在所述測定部的測定值到達規定的重設用負載后，使所述清洗構件在從所述基準構件離開的方向上移動，在所述測定部對所述清洗構件的每單位移動量的測定值至少連續兩次彼此相同的時間點，進行如下重設動作：設定該時間點的所述清洗構件的位置作為清洗時所述清洗構件的基準位置，并且設定所述時間點的所述測定部的測定值作為清洗時的按壓基準值。

10.一種計算機可讀取記錄介質，包含清洗裝置的維護程序，該清洗裝置具備：

可彈性變形的清洗構件；

移動部，該移動部能夠將所述清洗構件按壓于基準構件表面；及

測定部，該測定部測定所述清洗構件對所述基準構件的負載，

所述計算機基于所述清洗裝置的所述測定部的測定值來控制所述移動部，

該維護程序的特征在于，使所述計算機執行如下動作：

在清洗前，將所述清洗構件按壓于所述基準構件，在所述測定部的測定值到達規定的重設用負載后，使所述清洗構件在從所述基準構件離開的方向上移動，在所述測定部對所述清洗構件的每單位移動量的測定值至少連續兩次彼此相同的時間點，進行如下重設動作：設定該時間點的所述清洗構件的位置作為清洗時所述清洗構件的基準位置，并且設定所述時間點的所述測定部的測定值作為清洗時的按壓基準值。