[發明專利]用于測量振動的投射系統

有效

• 申請號: 201880028148.2
• 申請日: 2018-03-19
• 公開（公告）號: CN111095127B
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 朱利安·波提文;帕斯卡爾·皮卡爾特;凱文·赫加蒂;朱利安·勒默爾
• 申請（專利權）人: 勒芒大學;國家科學研究中心;法國國立高等電信布列塔尼學院;朱勒凡爾納技術研究學院
• 主分類號: G03H1/00
• 分類號: G03H1/00;G03H1/04;G01H9/00;G03H1/30
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 尚玲;陳萬青

1.一種用于通過數字全息技術來測量機械部件（M）的表面（VSURF）的振動的系統（SYS），所述系統包括：

輻射（L）源，所述輻射源在預定的頻率范圍（LF）中發射，

第一分離元件（EL1），所述第一分離元件被配置成限定第一入射光線（LB1）和參考光線（RLB），

成形模塊（DOEM），所述成形模塊被配置成從所述第一入射光線（LB1）產生第二入射光線（LB2），

光學元件（OE），所述光學元件被配置成使所述參考光線（RLB）和由所述第二入射光線（LB2）在所述機械部件（M）的所述表面（VSURF）上的反射產生的輻射（LB2’）進行干涉，以及

照相機（FCAM），所述照相機被配置成記錄以所述參考光線（RLB）和由所述反射產生的所述輻射（LB2’）的相干相加（ADDLB）的形式的數字全息圖，

所述成形模塊（DOEM）包括一個或多個衍射光學元件（DOE1、...、DOEn），所述一個或多個衍射光學元件中的每一個包括至少一個衍射結構（FSTRUCT），所述至少一個衍射結構被配置成衍射所述第一入射光線（LB1）的全部或部分，

其中，所述至少一個衍射結構由靠在玻璃基底上的聚合物、溶膠-凝膠或感光樹脂材料制成，所述至少一個衍射結構包括在平行于和/或正交于所述玻璃基底的平面中蝕刻的元件，

其中，所述元件的尺寸范圍從100納米至100微米。