[發(fā)明專利]用于旋轉(zhuǎn)基座的快速斷接電阻溫度檢測(cè)器組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880028147.8
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110603630B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 穆罕納德·穆斯塔法;穆罕默德·M·拉希德;馬里奧·丹·桑切斯;張鈾;威廉·W·匡;維諾德·康達(dá)·普拉斯;曼朱納塔·科帕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種快速斷接電阻溫度檢測(cè)器(RTD)加熱器組件，包括：

第一組件，所述第一組件包括：基座；基座軸桿，所述基座軸桿耦合到所述基座的底部；適配器，所述適配器耦合到所述基座軸桿；一或多個(gè)加熱器電源終端，所述一或多個(gè)加熱器電源終端設(shè)置在形成于所述基座軸桿及所述適配器中的通孔中；和至少一個(gè)RTD，所述RTD設(shè)置在形成于所述基座、所述基座軸桿及所述適配器中的通孔中；和

第二組件，所述第二組件包括旋轉(zhuǎn)模塊及纜線組件，所述旋轉(zhuǎn)模塊具有中心開(kāi)口，所述纜線組件部分地設(shè)置在所述中心開(kāi)口中并牢固地固定至所述旋轉(zhuǎn)模塊，

其中所述第一組件可拆卸地耦合到所述第二組件，其中所述纜線組件包括一或多個(gè)電源插座，當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，所述電源插座接收所述加熱器電源終端，且其中所述纜線組件包括一或多個(gè)彈簧加載的RTD銷，當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，所述彈簧加載的RTD銷接觸到設(shè)置在所述第一組件中的至少一個(gè)RTD。

2.如權(quán)利要求1所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述適配器具有中心開(kāi)口，所述中心開(kāi)口形成在所述適配器的底表面中，且其中當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，所述纜線組件的頂部部分設(shè)置在所述適配器的所述中心開(kāi)口內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中設(shè)置在所述第一組件中的所述RTD包括：RTD傳感器部分；保護(hù)套管；具有套環(huán)的彈簧，所述套環(huán)焊接到所述套管；和RTD連接器殼體。

4.如權(quán)利要求3所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述RTD連接器殼體包括多個(gè)銅接觸墊，當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，所述銅接觸墊接觸所述一或多個(gè)彈簧加載的RTD銷。

5.如權(quán)利要求4所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，每個(gè)銅接觸墊接觸單一個(gè)彈簧加載的RTD銷。

6.如權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述旋轉(zhuǎn)模塊在所述旋轉(zhuǎn)模塊的頂表面上包括至少一個(gè)外加螺絲及至少一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷。

7.如權(quán)利要求6所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述適配器包括形成在所述適配器的底表面中的至少一個(gè)對(duì)準(zhǔn)孔及至少一個(gè)外加螺絲孔。

8.如權(quán)利要求7所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述對(duì)準(zhǔn)銷配合到對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)孔中，并確保所述至少一個(gè)外加螺絲的對(duì)準(zhǔn)，及所述彈簧加載的銷對(duì)設(shè)置在所述第一組件中的所述至少一個(gè)RTD的對(duì)應(yīng)接觸墊的對(duì)準(zhǔn)。

9.如權(quán)利要求7所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中每個(gè)外加螺絲孔包括O形環(huán)以保持真空密封。

10.如權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述旋轉(zhuǎn)模塊包括冷卻劑通道，所述冷卻劑通道形成于所述旋轉(zhuǎn)模塊的外表面中。

11.如權(quán)利要求10所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述第二組件進(jìn)一步包括水饋通件，所述水饋通件耦合到所述旋轉(zhuǎn)模塊的底部，且其中所述水饋通件向所述冷卻劑通道提供冷卻劑。

12.如權(quán)利要求11所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中所述加熱器電源終端向設(shè)置在所述基座中的加熱元件提供電力。

13.如權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的快速斷接RTD加熱器組件，其中當(dāng)所述第一組件及所述第二組件耦合在一起時(shí)，所述基座軸桿、所述適配器及所述旋轉(zhuǎn)模塊形成軸桿組件，且其中所述基座經(jīng)由所述軸桿組件耦合至致動(dòng)器，所述軸桿組件提供垂直運(yùn)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及角度運(yùn)動(dòng)的一或多者。