[發明專利]大氣壓等離子體裝置

有效

• 申請號: 201880027449.3
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN110574140B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 金圣寧;姜信德
• 申請（專利權）人: 株式會社科比福來特
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京京萬通知識產權代理有限公司 11440
• 代理人: 齊曉靜

1.一種大氣壓等離子體裝置，其中，包括：

電壓電極，施加有高頻電力，并且包括在第一方向上延伸的導體；

接地電極，面對所述電壓電極并與所述電壓電極隔開預定距離；以及

介電阻擋層，位于所述接地電極和所述電壓電極之間并屏蔽所述電壓電極的一端，所述介電阻擋層和所述接地電極定義產生大氣壓等離子體的空間和供應反應氣體的反應氣體流路，并且接地電極具有用于噴射所述大氣壓等離子體的多個注入孔，所述多個注入孔中的至少一個的中心與所述電壓電極的中心軸不一致；

所述電壓電極(30)包括從等離子體噴涂裝置(1a)的中心沿縱向在第一方向(D1)上延伸的棒狀桿(32)和在桿(32)的前端與桿(32)成為一體的盤(34)，

所述接地電極(50)由圓筒形的殼體(52)和連接至所述殼體(52)的一端的接地板(54)構成，

所述介電阻擋層(40)由圓柱形主體(42)和連接到所述主體(42)前端的屏蔽板(44)組成，所述介電阻擋層(40)的所述屏蔽板(44)被設置成與所述電壓電極的所述盤(34)直接接觸，所述接地板與所述屏蔽板(44)隔開預定距離，

所述介電阻擋層(40)的圓柱形所述主體(42)與所述電壓電極的桿(32)隔開預定間隔平行地延伸，

當供應的反應氣體流入設置在在圓柱形所述主體(42)與所述接地電極(50)的所述殼體(52)之間形成的通道(S2)時，反應氣體(G)通過的截面積減小，從而反應氣體(G)增加流量，使得獲得更大的前進動力。

2.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述盤和所述屏蔽板垂直于所述第一方向設置。

3.根據權利要求2所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述接地電極包括與所述介電阻擋層間隔開的殼體和具有多個用于噴射所述大氣壓等離子體的注入孔的接地板。

4.根據權利要求3所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述多個注入孔的直徑為所述盤的直徑的1/20至1/3。

5.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述接地板平行于所述屏蔽板。

6.根據權利要求3所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述接地板和所述盤在平面上分別具有圓形、橢圓形和多邊形中的一種。

7.根據權利要求3所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述接地板與所述殼體一體地形成。

8.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，還包括：

高頻電源，用于供應等離子體產生功率；以及

氣體供應器，用于存儲和供應反應氣體。

9.根據權利要求8所述的大氣壓等離子體裝置，其中，還包括氣壓調節器和氣壓指示器。

10.根據權利要求8所述的大氣壓等離子體裝置，其中，還包括氣流調節器和氣流指示器。

11.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，由所述反應氣體產生的全部大氣壓等離子體通過所述多個注入孔被噴射。

12.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述電壓電極包括沿第一方向延伸的桿以及在桿的前端處連接至桿的盤，所述桿由具有電力電纜的非絕緣材料制成，所述盤由導電材料制成。

13.根據權利要求1所述的大氣壓等離子體裝置，其中，所述介電阻擋層包括圓柱形主體、連接至所述主體的前端的屏蔽板以及連接至所述主體的后端的后屏蔽板，所述電壓電極穿過所述后屏蔽板。