[發明專利]超純水制造系統及超純水制造方法

在審

• 申請號: 201880027433.2
• 申請日: 2018-04-06
• 公開（公告）號: CN110678420A
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 天谷徹;丸山和郎
• 申請（專利權）人: 野村微科學股份有限公司
• 主分類號: C02F1/42
• 分類號: C02F1/42;B01J39/05;B01J39/20;B01J41/05;B01J41/14;C02F1/32;C02F1/44;C02F9/12
• 代理公司: 72002 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 白麗

1.一種超純水制造系統，其特征在于，其是將包含硼成分和總有機碳成分的被處理水進行處理而制造超純水的超純水制造系統，其依次具備：

對所述被處理水以0.05kWh/m³～0.2kWh/m³的紫外線照射量照射紫外線的第1紫外線氧化裝置；

具有將硼吸附樹脂及陰離子交換樹脂混合而成的硼吸附陰離子交換混床樹脂、且將通過所述第1紫外線氧化裝置照射紫外線后的被處理水進行處理的硼吸附樹脂混合離子交換裝置；

對通過所述硼吸附樹脂混合離子交換裝置處理后的所述被處理水照射紫外線的第2紫外線氧化裝置；和

將通過所述第2紫外線氧化裝置照射紫外線后的所述被處理水進行處理的非再生型混床式離子交換樹脂裝置。

2.根據權利要求1所述的超純水制造系統，其特征在于，關于所述硼吸附陰離子交換混床樹脂中的所述硼吸附樹脂及所述陰離子交換樹脂的混合比例，將所述陰離子交換樹脂的交換容量設為“C_A”、將所述硼吸附樹脂的交換容量設為“C_B”，C_A/C_B為0.2～5。

3.根據權利要求1或2所述的超純水制造系統，其特征在于，所述硼吸附樹脂混合離子交換裝置具有在所述硼吸附陰離子交換混床樹脂中進一步混合陽離子交換樹脂而成的硼吸附陽離子交換陰離子交換混床樹脂。

4.根據權利要求3所述的超純水制造系統，其特征在于，關于所述硼吸附陽離子交換陰離子交換混床樹脂中的硼吸附樹脂、陰離子交換樹脂及陽離子交換樹脂的混合比例，將所述陰離子交換樹脂的交換容量設為“C_A”、將所述硼吸附樹脂的交換容量設為“C_B”、將所述陽離子交換樹脂的交換容量設為“C_C”，C_C/(C_A+C_B)為0.3～1.3。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的超純水制造系統，其特征在于，在所述第1紫外線氧化裝置的上游側依次具備反滲透膜裝置和電去離子裝置。

6.根據權利要求5所述的超純水制造系統，其特征在于，所述電去離子裝置中的每1單元對處理流量的電流值為30A/(m³/h)以上。

7.根據權利要求5或6所述的超純水制造系統，其特征在于，所述反滲透膜裝置中的膜阻力為45MPa/(m/h)以上。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的超純水制造系統，其特征在于，所述硼吸附樹脂混合離子交換裝置的處理水中的總有機碳濃度以C計為5μg/L以下。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的超純水制造系統，其特征在于，所述非再生型混床式離子交換樹脂裝置的處理水中的總有機碳濃度以C計低于0.5μg/L，硼濃度低于0.5ng/L。

10.一種超純水制造方法，其特征在于，其是將包含硼成分和總有機碳成分的被處理水進行處理而制造超純水的超純水制造方法，其包括：

通過第1紫外線氧化裝置，將紫外線照射量設定為0.05kWh/m³～0.2kWh/m³而將所述被處理水進行處理的工序；

將所述第1紫外線氧化裝置的處理水通過具有將硼吸附樹脂及陰離子交換樹脂混合而成的硼吸附陰離子交換混床樹脂的硼吸附樹脂混合離子交換裝置進行處理的工序；

將所述硼吸附樹脂混合離子交換裝置的處理水通過第2紫外線氧化裝置進行處理的工序；和

將所述第2紫外線氧化裝置的處理水通過非再生型混床式離子交換樹脂裝置進行處理的工序。