[發明專利]測量設備平衡件

在審

• 申請號: 201880026302.2
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN110537074A
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: C·布朗;雨果·喬治·戴瑞克
• 申請（專利權）人: 瑞尼斯豪公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00;G01B5/008
• 代理公司: 11413 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 謝攀;劉繼富<國際申請>=PCT/GB2

1.一種定位設備，所述定位設備包括能夠在其上安裝探針設備的套筒軸、用于使所述套筒軸在基本上豎直的維度上定位的至少一個馬達、以及用于所述套筒軸的氣動平衡機構，其中，所述定位設備被配置為基于與所述套筒軸有關的至少一個因素而自動實現所述氣動平衡機構的壓力的變化，從而調節所述套筒軸上的由所述氣動平衡機構提供的平衡力。

2.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中所述至少一個馬達包括直接驅動馬達，可選地是線性馬達。

3.如權利要求1或2所述的定位設備，其中所述至少一個因素與所述套筒軸的實際豎直位置或預期豎直位置有關。

4.如任一前述權利要求所述的定位設備，進一步包括用于測量所述套筒軸的豎直位置的一個或多個位置編碼器，并且其中所述至少一個因素包括來自所述一個或多個位置編碼器中的至少一個位置編碼器的輸出。

5.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中所述至少一個因素與所述至少一個馬達的實際功率需求或預期功率需求有關。

6.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中所述至少一個因素與所述套筒軸的實際行進方向或預期行進方向有關。

7.如權利要求6所述的定位設備，所述定位設備被配置為調節所述氣動平衡機構的壓力，以便輔助所述馬達使所述套筒軸在所述行進方向上移動。

8.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中所述至少一個因素與比如探針等已裝載或要裝載在所述套筒軸上的至少一個模塊有關。

9.如權利要求8所述的定位設備，其中所述至少一個因素與所述至少一個模塊的重量有關。

10.如權利要求8或9所述的定位設備，其中通過對所述裝載在所述套筒軸上的模塊對于所述坐標定位設備的影響進行評估來確定所述至少一個因素。

11.如任一前述權利要求所述的定位設備，包括壓力調節器，所述壓力調節器被配置為將所述氣動平衡機構的壓力維持在設定壓力，并且其中所述設備被配置為基于所述至少一個因素來改變所述設定壓力。

12.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中根據查找表和/或函數來確定所述氣動平衡機構的壓力的變化。

13.如任一前述權利要求所述的定位設備，所述定位設備被配置為響應于所述套筒軸上的載荷的預期變化或測量變化而自動調節所述氣動平衡機構的壓力。

14.如任一前述權利要求所述的定位設備，其中所述定位設備包括笛卡爾坐標定位設備。

15.一種定位設備的操作方法，所述定位設備包括能夠在其上安裝探針設備的套筒軸、用于使所述套筒軸在基本上豎直的維度上移動的至少一個馬達、以及用于所述套筒軸的氣動平衡機構，所述方法包括基于所述套筒軸的狀態而自動實現所述氣動平衡機構的壓力的變化，從而調節所述套筒軸上的由所述氣動平衡機構提供的平衡力。

16.一種定位設備，包括：能在基本上豎直的自由度上相對移動的第一構件和第二構件，其中能量導管連接到所述第一構件和所述第二構件中的至少一者，其中，在所述第一構件和所述第二構件的自由度上由所述能量導管施加在所述構件中的至少一個與之相連的構件上的載荷根據所述第一構件和所述第二構件的相對位置而變化，并且所述定位設備進一步包括氣動平衡件，所述氣動平衡件被配置為在所述第一構件和所述第二構件的自由度上施加載荷，所述載荷根據所述第一構件和所述第二構件的相對位置而變化，與所述能量導管所施加的載荷相反，這種載荷變化是通過改變所述氣動平衡件的氣壓來實現的。