[發明專利]用于處理物件、尤其是容器的機器人抓具在審
| 申請號: | 201880026232.0 | 申請日: | 2018-04-10 |
| 公開(公告)號: | CN110537254A | 公開(公告)日: | 2019-12-03 |
| 發明(設計)人: | H·格拉茨;E·舒科夫;A·阿克巴斯 | 申請(專利權)人: | 庫卡德國有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B25J9/04;B66F9/18;H01L21/673;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司: | 72003 隆天知識產權代理有限公司 | 代理人: | 傅磊;黃艷<國際申請>=PCT/EP20 |
| 地址: | 德國奧*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 抓具 夾持腳 對角 機器人 物件 支架 接口法蘭 凹口 按壓 從機器人 工具法蘭 固定夾持 機器人臂 形狀配合 張緊狀態 釋放 收納夾 緊固 適配 松脫 優選 安置 | ||
本發明涉及一種機器人抓具(4),用于借助于機器人(2)處理分別具有至少一個夾持腳(6)的物件(5),機器人抓具具有抓具基體(8),抓具基體具有接口法蘭(9),接口法蘭被構造用于將機器人抓具(4)緊固在機器人臂(2a)的工具法蘭(3)上,機器人抓具還具有:與所述抓具基體(8)連接的對角式支架(10),對角式支架具有凹口(11),凹口在它的形狀和大小上被適配物件(5)的夾持腳(6),以便能夠形狀配合地收納夾持腳;布置在抓具基體(8)上的、優選被能調節地安置的調節機構(12),調節機構被構造為,在張緊狀態中相對物件(5)的夾持腳(6)按壓,以便相對對角式支架(10)固定夾持腳,并在釋放狀態中釋放夾持腳(6),使得對角式支架(10)能夠相對于夾持腳(6)調節,以便能夠使物件(5)的夾持腳(6)從機器人抓具(4)松脫。本發明還涉及一種所屬的方法。
技術領域
本發明涉及一種機器人抓具,用于借助于機器人來處理分別具有至少一個夾持腳的物件、尤其是容器、閥或任何具有法蘭的物件,該機器人抓具具有抓具基體,該抓具基體具有接口法蘭,該接口法蘭被構造用于將機器人抓具緊固在機器人臂的工具法蘭上。本發明還涉及一種所屬的方法。
背景技術
由DE 20 2010 007 169 U1已知一種用于處理和/或運輸容器、尤其是桶或錐狀容器的裝置,其具有用于這些容器的、設置在機器人或機械手上的抓具。
由US 2009/0297299 A1已知凈化室容器,它們被構建用于運輸尤其是由半導體材料制成的薄片到集成電路上,也就是說被構造用于運輸晶圓。這種凈化室容器在專業領域中也被稱作FOUP(正面開口標準箱或者說晶圓盒,英文:Front Opening Unified Pod/Front Opening Universal Pod)。這類凈化室容器具有容器殼體,該容器殼體在它的外壁上具有至少一個夾持腳,使得凈化室容器可以被自動地處理。
發明內容
本發明的目的是提供一種機器人抓具和一種所屬的方法,由此可以借助于機器人以簡單和可靠的方式自動地處理具有至少一個夾持腳的物件、尤其是容器、閥或任何具有法蘭的物件。
該目的根據本發明通過一種機器人抓具來實現,其用于借助于機器人來處理分別具有至少一個夾持腳的物件、尤其是容器、閥或任何具有法蘭的物件,該機器人抓具具有抓具基體,抓具基體具有接口法蘭,該接口法蘭被構造用于使機器人抓具緊固在機器人臂的工具法蘭上,該機器人抓具此外具有:與抓具基體連接的對角式支架,對角式支架具有凹口,凹口在它的形狀和大小上被適配所述物件的夾持腳,以便能夠形狀配合地收納所述夾持腳;布置在所述抓具基體上的、優選能調節地安置的調節機構,所述調節機構被構造為,在張緊狀態中相對所述物件的夾持腳按壓,以便相對對角式支架固定夾持腳,并在釋放狀態中釋放夾持腳,使得對角式支架能夠相對于夾持腳被調節,以便能夠使物件的夾持腳從機器人抓具松脫。
借助于對角式支架和調節機構,形狀配合地保持、尤其是夾緊物件的夾持腳或者夾持腳的頭部區段。調節機構就此而言形成按壓件,該按壓件將夾持腳或者夾持腳的頭部區段朝對角式支架的內壁按壓或擠壓。調節機構尤其可以是被動的調節機構,也就是說,調節機構被構造為不主動地被驅動,而是僅能被動調節,例如,通過使機器人臂發生運動,該機器人臂使機器人抓具朝物件按壓。尤其可以通過轉動運動來給出對角式支架關于夾持腳的可調節性。尤其可以單獨通過機器人臂的運動來實施轉動運動。就此而言,機器人抓具總體上可以無驅動器、也就是純被動地構造。機器人臂的轉動運動可以在最簡單的設計方案中是機器人臂的工具法蘭的轉動,通過機器人臂的關節馬達來驅動該機器人臂。物件的夾持腳可以具有相對于夾持腳的頭部區段沿圓周減少的承載區段,該承載區段將頭部區段與物件的、尤其是容器的物件壁、尤其是容器壁連接。頭部區段就此而言相對于承載區段沿圓周擴大地構造,從而使夾持腳形成側凹部,對角式支架可以形狀配合地嵌入到側凹部中。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





