[發明專利]一種柔性薄膜太陽電池及其制造方法

有效

• 申請號: 201880025516.8
• 申請日: 2018-06-20
• 公開（公告）號: CN110574170B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 李明陽;劉冠洲;畢京鋒;李森林;宋明輝;陳文浚
• 申請（專利權）人: 天津三安光電有限公司
• 主分類號: H01L31/02
• 分類號: H01L31/02;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/18
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1.一種柔性薄膜太陽電池，包括柔性薄膜襯底、柔性薄膜襯底上的一個外延層結構、位于所述外延層結構和柔性薄膜襯底之間的下電極以及位于所述外延層結構之上的上電極，其特征在于：還包括所述外延層結構上的貫穿過孔、通過貫穿過孔與所述下電極相連的貫穿電極、至少包覆貫穿過孔側壁并位于貫穿電極和所述外延層結構上表面之間的絕緣層結構，所述絕緣層結構將貫穿電極與所述外延層的側壁和上表面絕緣；所述貫穿電極與上電極包括位于外延層同側的焊盤結構。

2.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池的外延層厚度小于15um。

3.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述外延層結構還包括外延生長襯底。

4.根據權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述外延生長襯底的厚度小于10um，貫穿過孔貫穿外延生長襯底。

5.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池的貫穿電極焊盤結構位于絕緣層結構上；貫穿電極的非焊盤結構區域下方包括貫穿過孔。

6.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池的絕緣層結構包括SiO₂、SiN_x、Al₂O₃、MgF₂、Ti₃O₅單層或多層膜結構。

7.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：絕緣層結構的材料與減反膜材料相同。

8.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜襯底為非導電性襯底。

9.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜襯底為聚合物柔性薄膜襯底。

10.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：聚合物柔性薄膜襯底為PET、PI、PMMA中的至少一種制成。

11.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池包含單結或多結GaAs基、Ge基構成的三五族電池、硅基電池、銅銦鎵硒、銅鋅錫硫、碲化鎘、有機電池、染料敏化電池、量子點電池或以上任何二種以上電池的復合型電池。

12.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池的柔性薄膜襯底厚度小于150um。

13.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池上電極、下電極和貫穿電極的至少一種電極采用金屬或透明導電材料組成，透明導電材料包括ITO、IZO、GTO、TCO。

14.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：其中貫穿電極的非焊盤區域和/或上電極采用透明導電材料制成，使貫穿過孔的側壁及電池表面入射更多光線，從而提高電池效率。

15.根據權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池，其特征在于：所述柔性薄膜太陽電池形成的組件，其連接形式為將貫穿電極焊盤與另外一顆太陽電池上電極焊盤電性連接，不需從下電極處引線焊接。