[發(fā)明專利]像差校正方法和光學(xué)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880024335.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN110520779B
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松本直也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B21/00
• 分類號(hào): G02B21/00;G02F1/01
• 代理公司: 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種像差校正方法，其特征在于，

包括：

將空間光調(diào)制器的調(diào)制面與對(duì)象物經(jīng)由物鏡光學(xué)耦合的耦合步驟；和

基于包含用于校正起因于所述對(duì)象物的折射率界面的像差的校正圖案的調(diào)制圖案，控制所述空間光調(diào)制器的控制步驟，

所述調(diào)制圖案中的所述校正圖案的位置基于所述對(duì)象物的所述折射率界面相對(duì)于與所述物鏡的光軸垂直的平面的傾斜信息，以所述校正圖案的中心相對(duì)于所述物鏡的光軸與所述調(diào)制面相交的點(diǎn)，偏離基于所述傾斜信息決定的距離的方式設(shè)定。

2.一種像差校正方法，其特征在于，

包括：

將空間光調(diào)制器的調(diào)制面與對(duì)象物經(jīng)由物鏡光學(xué)耦合的耦合步驟；和

基于包含用于校正起因于所述對(duì)象物的折射率界面的像差的校正圖案的調(diào)制圖案，控制所述空間光調(diào)制器的控制步驟，

所述空間光調(diào)制器和所述物鏡基于所述對(duì)象物的所述折射率界面相對(duì)于與所述物鏡的光軸垂直的平面的傾斜信息，以所述調(diào)制面相對(duì)于所述物鏡的光軸向與光軸交叉的方向相對(duì)地偏離基于所述傾斜信息決定的距離的方式配置。

3.如權(quán)利要求1或2所述的像差校正方法，其特征在于：

還包括測(cè)量所述對(duì)象物的所述折射率界面的傾斜角度的測(cè)量步驟，

所述傾斜信息基于由所述測(cè)量步驟測(cè)量的所述傾斜角度而決定。

4.如權(quán)利要求3所述的像差校正方法，其特征在于：

在所述測(cè)量步驟中，取得自所述對(duì)象物的所述折射率界面起的深度分別不同的所述對(duì)象物的多個(gè)圖像，基于所述多個(gè)圖像求取所述傾斜角度。

5.如權(quán)利要求1或2所述的像差校正方法，其特征在于：

所述傾斜信息基于與預(yù)先存儲(chǔ)的所述對(duì)象物的所述折射率界面的傾斜角度相關(guān)的信息決定。

6.如權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的像差校正方法，其特征在于：

所述調(diào)制面上的所述校正圖案的區(qū)域的直徑大于所述物鏡的光瞳直徑。

7.如權(quán)利要求3所述的像差校正方法，其特征在于：

在所述測(cè)量步驟中，將所述對(duì)象物的所述折射率界面分割成多個(gè)區(qū)域，測(cè)量各區(qū)域中的所述傾斜角度，

所述傾斜信息基于所述各區(qū)域中的所述傾斜角度決定。

8.一種光學(xué)裝置，其特征在于，

包括：

具有調(diào)制面的空間光調(diào)制器；

配置在所述調(diào)制面與對(duì)象物之間的光路上的物鏡；和

控制部，其基于包含用于校正起因于所述對(duì)象物的折射率界面的像差的校正圖案的調(diào)制圖案，控制所述空間光調(diào)制器，

所述調(diào)制圖案中的所述校正圖案的位置基于所述對(duì)象物的所述折射率界面相對(duì)于與所述物鏡的光軸垂直的平面的傾斜信息，以所述校正圖案的中心相對(duì)于所述物鏡的光軸與所述調(diào)制面相交的點(diǎn)，偏離基于所述傾斜信息決定的距離的方式設(shè)定。

9.一種光學(xué)裝置，其特征在于，

包括：

空間光調(diào)制器，其具有調(diào)制面，基于包含用于校正起因于對(duì)象物的折射率界面的像差的校正圖案的調(diào)制圖案而調(diào)制光；

物鏡，其配置于所述調(diào)制面與所述對(duì)象物之間的光路上；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述物鏡和所述空間光調(diào)制器的至少一者向與所述物鏡的光軸交叉的方向移動(dòng)；和

控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制部，

所述控制部基于所述對(duì)象物的所述折射率界面相對(duì)于與所述物鏡的所述光軸垂直的平面的傾斜信息，以所述調(diào)制面相對(duì)于所述物鏡的光軸向與光軸交叉的方向相對(duì)地偏離基于所述傾斜信息決定的距離的方式控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

10.如權(quán)利要求8或9所述的光學(xué)裝置，其特征在于：

還包括測(cè)量所述對(duì)象物的所述折射率界面的傾斜角度的測(cè)量部，

所述傾斜信息基于由所述測(cè)量部測(cè)量的所述傾斜角度而決定。