[發明專利]自動研磨系統

有效

• 申請號: 201880016216.3
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN110366474B
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 真鍋敬二;鈴木浩之;志波英男;中山玄二
• 申請（專利權）人: 株式會社大氣社
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B49/12;B25J5/02;B25J13/00;B25J13/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;陳浩然

1.一種自動研磨系統，被研磨自動機（2）保持的研磨工具（4）借助前述研磨自動機（2）的動作而向處理對象物（W）的研磨對象面（A）的各部分移動，隨著該移動，前述研磨工具（4）對前述研磨對象面（A）進行研磨處理，其特征在于，

設置有計測前述研磨對象面（A）的三維形狀的三維形狀計測器（3）；

設置有基于前述研磨對象面（A）的三維形狀數據（D）對前述研磨自動機（2）進行控制或對前述研磨自動機（2）及前述研磨工具（4）進行控制的研磨控制器（6），前述研磨對象面（A）的三維形狀數據（D）是通過由該三維形狀計測器（3）進行的形狀計測得到的；

為了借助由前述研磨控制器（6）進行的前述研磨自動機（2）的控制或前述研磨自動機（2）及前述研磨工具（4）的控制而使前述研磨工具（4）對于前述研磨對象面（A）的各部分進行研磨作用，

前述研磨控制器（6）基于前述三維形狀數據（D），按照在前述研磨對象面（A）隨機地存在的凸狀部分中的、處于以相互接近的狀態沿規定方向排列的狀態的多個研磨對象凸狀部分（t），設定跨越這些處于以接近狀態沿規定方向排列的狀態的多個研磨對象凸狀部分（t）的假想線段（k）；

然后，前述研磨控制器（6）將前述研磨自動機（2）控制為或將前述研磨自動機（2）及前述研磨工具（4）控制為以下的狀態：一邊使前述研磨工具（4）在前述研磨對象面（A）上依次沿著各個前述假想線段（k）移動、一邊使前述研磨工具（4）對于各個前述研磨對象凸狀部分（t）依次地進行研磨作用的狀態。

2.如權利要求1所述的自動研磨系統，其特征在于，

設置有保持前述三維形狀計測器（3）的計測自動機（1）；

前述研磨控制器（6）對前述計測自動機（1）及前述三維形狀計測器（3）進行控制；

借助由前述研磨控制器（6）進行的前述計測自動機（1）的控制，前述三維形狀計測器（3）移動至相對于前述研磨對象面（A）的規定的計測位置；

借助由前述研磨控制器（6）進行的前述三維形狀計測器（3）的控制，前述三維形狀計測器（3）計測前述研磨對象面（A）的三維形狀。

3.如權利要求1或2所述的自動研磨系統，其特征在于，

前述研磨控制器（6）隨著前述假想線段（k）的設定，以將一條前述假想線段（k）的一方的端部設為研磨起始點（ka）并將另一方的端部設為研磨終點（kb）、相對于此在相鄰的前述假想線段（k）中相反將一方的端部設為研磨終點（kb）并將另一方的端部設為研磨起始點（ka）的交替形態，對前述假想線段（k）各自的端部設定前述研磨起始點（ka）和前述研磨終點（kb）；

然后，前述研磨控制器（6）將前述研磨自動機（2）控制為以下的狀態：對于各個前述假想線段（k）、使前述研磨工具（4）沿著前述假想線段（k）從前述研磨起始點（ka）移動到前述研磨終點（kb）、并且使到達了一條前述假想線段（k）的前述研磨終點（kb）的前述研磨工具（4）從前述研磨對象面（A）浮起而移動到相鄰的前述假想線段（k）的前述研磨起始點（ka）的狀態。

4.如權利要求1～3中任一項所述的自動研磨系統，其特征在于，

前述研磨控制器（6）基于前述三維形狀計測器（3）的計測結果運算前述研磨對象面（A）上的各點（q）的三維坐標（α,β,γ），作為前述三維形狀數據（D）；

前述三維坐標（α,β,γ）由在設定的基準面（s）的面上與前述各點（q）對應的對應點（q′）的前述基準面（s）上的位置坐標（α,β）、和相對于前述基準面（s）的垂直方向上的前述各點（q）的高度坐標（γ）構成。

5.如權利要求4所述的自動研磨系統，其特征在于，

前述研磨控制器（6）在沿著前述假想線段（k）的前述研磨工具（4）的移動中，根據前述研磨工具（4）經過的前述研磨對象凸狀部分（t）各自的前述高度坐標（γ）來調整前述研磨工具（4）的研磨輸出。

6.如權利要求1～5中任一項所述的自動研磨系統，其特征在于，

前述研磨控制器（6）基于前述三維形狀數據（D）制作由等高線或由顏色濃度的變化表示前述研磨對象面（A）的凹凸狀態的圖像（G），將制作出的前述圖像（G）顯示在顯示器的畫面上。