[發明專利]通過熱壓形成的燒結陶瓷保護層

在審

• 申請號: 201880015648.2
• 申請日: 2018-03-02
• 公開（公告）號: CN110382443A
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: J·Y·孫;詹國棟;D·芬威克;M·R·賴斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C04B35/622
• 分類號: C04B35/622;C04B35/645;C04B37/00;C04B37/02;C04B35/515;C04B35/48;C04B35/553;C04B35/632;C04B35/626
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 楊學春;侯穎媖

1.一種方法，包含以下步驟：

將粉末壓塊設置于制品的表面上，其中所述制品是處理腔室的腔室部件；

抵靠所述制品的所述表面熱壓所述粉末壓塊，所述熱壓包括：

加熱所述制品及所述粉末壓塊至一溫度，所述溫度為所述粉末壓塊的熔點的50％至80％；以及

施加15百萬帕斯卡至100百萬帕斯卡的壓力；

其中所述熱壓將所述粉末壓塊燒結成燒結陶瓷保護層，并將所述燒結陶瓷保護層接合至所述制品的所述表面。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述制品包含鋁、鋁合金、或選自由Al₂O₃、AlN、Si₃N₄及SiC組成的群組的陶瓷中的一者。

3.如權利要求1所述的方法，其中所述粉末壓塊基本上由顆粒組成，所述顆粒選自由氧化釔、氟化釔及氧氟化釔所組成的群組。

4.如權利要求1所述的方法，其中所述粉末壓塊基本上由氧化釔及氧化鋯的固溶體組成。

5.如權利要求1所述的方法，其中所述制品的所述表面是非平坦表面，所述方法進一步包含以下步驟：

將所述制品和所述粉末壓塊安置于模具中，其中施加所述壓力的步驟包括：使用沖壓器施加單軸向壓力。

6.如權利要求1所述的方法，進一步包含以下步驟：

激光切割所述燒結陶瓷保護層，以實現預定形狀。

7.如權利要求1所述的方法，進一步包含以下步驟：

在所述燒結陶瓷保護層上面設置額外粉末壓塊；以及

抵靠所述燒結陶瓷保護層熱壓所述額外粉末壓塊，其中抵靠所述燒結陶瓷保護層熱壓所述額外粉末壓塊將所述額外粉末壓塊燒結成第二燒結陶瓷保護層，并將所述第二燒結陶瓷保護層接合至所述燒結陶瓷保護層。

8.一種方法，包含以下步驟：

將第一陶瓷的陶瓷漿料施加至制品的表面上，其中所述制品是處理腔室的腔室部件；

抵靠所述制品的所述表面熱壓所述陶瓷漿料或由所述陶瓷漿料形成的坯體，所述熱壓包括：

加熱所述制品和所述陶瓷漿料或所述坯體至一溫度，所述溫度為所述第一陶瓷的熔點的50％至80％；以及

施加15百萬帕斯卡至100百萬帕斯卡的壓力；

其中所述熱壓將所述陶瓷漿料或所述坯體燒結成燒結陶瓷保護層，并將所述燒結陶瓷保護層接合至所述制品的所述表面。

9.如權利要求8所述的方法，其中所述制品包含選自由Al₂O₃、AlN、Si₃N₄及SiC所組成的群組中的預燒結陶瓷。

10.如權利要求8所述的方法，其中所述制品包含選自由鋁及鋁合金所組成的群組中的金屬。

11.如權利要求8所述的方法，其中所述第一陶瓷選自由氧化釔、氟化釔及氧氟化釔所組成的群組。

12.如權利要求8所述的方法，其中所述第一陶瓷選自由以下項組成的群組：a)氧化釔和氧化鋯的固溶體，及b)由Y₂O₃-ZrO₂的固溶體和Y₄Al₂O₉組成的陶瓷化合物。

13.如權利要求8所述的方法，其中所述陶瓷漿料包含有機結合劑，所述方法進一步包含以下步驟：

在進行所述熱壓之前，將所述制品和所述陶瓷漿料裝載進入第一爐，并將所述制品和所述陶瓷漿料加熱至約100-200℃的第一溫度，以燒掉所述有機結合劑并干燥所述陶瓷漿料，從而從所述陶瓷漿料形成所述坯體；以及

隨后將所述制品和所述坯體裝載進入第二爐，其中在所述第二爐中進行所述熱壓。