[發明專利]基于MEMS的傳感器套件在審
| 申請號： | 201880012869.4 | 申請日： | 2018-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN110392836A | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發明（設計）人： | 阮雄;大衛·T·陳;拉維夫·佩瑞希亞;羅根·D·索蘭森 | 申請（專利權）人： | HRL實驗室有限責任公司 |
| 主分類號： | G01P15/18 | 分類號： | G01P15/18;G01C17/28;G01C19/5783;G01C21/16;G01R33/00;G01R33/02 |
| 代理公司： | 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355 | 代理人： | 張雅軍;秦小耕 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磁力計 多面體 加速度計傳感器 三軸加速度計 傳感器套件 傳感器 三軸 軸向 加速度計 微機電 套件 | ||
1.一種MEMS傳感器套件，其特征在于，包括：
三軸加速度計，其包括：
加速度計傳感器多面體，其包括多個面；
多個軸向加速度計，其在所述加速度計傳感器多面體的所述多個面中的三個面上；以及
三軸磁力計，其包括：
磁力計傳感器多面體，其包括多個面；以及
多個軸向磁力計，其在所述磁力計傳感器多面體的所述多個面中的三個面上。
2.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于：
所述加速度計傳感器多面體是立方體，且
所述加速度計傳感器多面體的所述三個面是三個相互正交的面。
3.根據權利要求2所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述三軸加速度計的所述立方體具有約1in3的體積。
4.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于：
所述磁力計傳感器多面體是立方體，且所述磁力計傳感器多面體的所述三個面是三個相互正交的面。
5.根據權利要求4所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述三軸磁力計的所述立方體具有約1in3的體積。
6.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述多個軸向加速度計中的每一軸向加速度計具有約0.65英寸x0.65英寸的面積。
7.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述多個軸向磁力計中的每一軸向磁力計具有約0.65英寸x 0.65英寸的面積。
8.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，還包括：
三軸陀螺儀，其包括：
陀螺儀傳感器多面體，其包括多個面；以及
多個軸向陀螺儀，其在所述陀螺儀傳感器多面體的所述多個面中的三個面上。
9.根據權利要求8所述的MEMS傳感器套件，其特征在于：
所述陀螺儀傳感器多面體是立方體，且
所述陀螺儀傳感器多面體的所述三個面是三個相互正交的面。
10.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述加速度計傳感器多面體包括柔性電路或軟硬結合印刷電路板。
11.根據權利要求10所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述加速度計傳感器立方體是所述軟硬結合印刷電路板，且其中所述多個軸向加速度計通過信號布線電連接在一起，所述信號布線延伸通過所述軟硬結合印刷電路板的柔性鉸鏈。
12.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述磁力計傳感器多面體包括柔性電路或軟硬結合印刷電路板。
13.根據權利要求12所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，所述磁力計傳感器多面體是所述軟硬結合印刷電路板，且其中所述多個軸向磁力計通過信號布線電連接在一起，所述信號布線延伸通過所述軟硬結合印刷電路板的柔性鉸鏈。
14.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，還包括前端板，其中所述加速度計傳感器多面體和所述磁力計傳感器多面體安裝在所述前端板上。
15.根據權利要求1所述的MEMS傳感器套件，其特征在于，還包括所述加速度計傳感器多面體的所述三個面上的多個電子組件，其中所述電子組件選自由信號放大器、濾波器和模/數轉換器組成的電子組件的群組。
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