[發(fā)明專利]物體捕捉裝置、捕捉對象物及物體捕捉系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880012152.X
• 申請日: 2018-02-08
• 公開（公告）號: CN110312946B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 森利宏;山本明人;前田昌之;笠原隆弘
• 申請（專利權(quán)）人: 北陽電機(jī)株式會社
• 主分類號: G01S17/931
• 分類號: G01S17/931;B65G1/00;G01C3/06;G01S7/481;G01S17/10;G01S7/48
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 劉文海

一種物體捕捉裝置，其能夠判別物體是否為捕捉對象物，該物體捕捉裝置具備：發(fā)光部；受光部；光掃描部，其使從發(fā)光部出射的測定光朝向測定對象空間掃描，并將針對測定光的來自物體的反射光向受光部引導(dǎo)；距離運(yùn)算部，其基于反射光相對于測定光的相位差或延遲時間，將距物體的距離與光掃描部的掃描角度建立對應(yīng)關(guān)系地算出；以及物體判別部，其基于由距離運(yùn)算部算出的相鄰的掃描角度下的各距離的差量成為規(guī)定的閾值以下的掃描角度范圍是否與代表各距離的基準(zhǔn)距離所對應(yīng)的捕捉對象物的基準(zhǔn)掃描角度范圍相對應(yīng)、以及該掃描角度范圍內(nèi)的反射光的強(qiáng)度分布是否與來自所述捕捉對象物的反射光的基準(zhǔn)強(qiáng)度分布相對應(yīng)，來判別物體是否為所述捕捉對象物。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對存在于測定對象空間的物體中的特定的物體進(jìn)行捕捉的物體捕捉裝置、捕捉對象物及物體捕捉系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備中，為了將收容有多張半導(dǎo)體晶片的晶片載體裝置從一個制造裝置的裝載端口向另一制造裝置的裝載端口輸送而使用有輸送臺車。這樣的輸送臺車被稱為空中行駛式無人輸送車，簡記為OHT(Overhead?Hoist?Transfer)。

為了避免該輸送臺車與人、機(jī)械等障礙物之間的接觸，該輸送臺車構(gòu)成為具備沿著在各制造裝置的上部空間設(shè)置的行駛導(dǎo)軌、即軌道自動行駛的行駛部和支承于該行駛部的物品收容部，在物品收容部組裝有升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)使升降體沿著規(guī)定的升降路徑升降，其中，該升降體具備用于抓住輸送對象物、即晶片載體裝置的夾持機(jī)構(gòu)。

為了按照各制造裝置的布局來輸送晶片載體裝置，該軌道是不僅具備單純的直線部而且還具備彎曲部、分支部、匯合部等的復(fù)雜形狀，該制造設(shè)備構(gòu)成為使多個輸送臺車隔開間隔地在同一軌道上行駛。

在該制造設(shè)備中，為了提高晶片載體裝置的輸送效率，要求多個輸送臺車在軌道上高速行駛，由于輸送臺車間的車間距離存在變短的傾向，因此需要具備防止萬一發(fā)生的追尾事故的機(jī)構(gòu)。

專利文獻(xiàn)1公開一種如下的技術(shù)：為了避免輸送臺車的追尾，在輸送臺車上設(shè)置激光測距儀等車間距離傳感器，基于由車間距離傳感器計測到的車間距離來算出與前方的輸送臺車之間的相對速度，基于相對速度來控制本車的行駛速度，由此避免追尾。

然而，在前方的輸送臺車在軌道的彎曲部行駛這樣的情況下，由于前方的輸送臺車脫離從激光測距儀輸出的測定光的掃描范圍，因此不僅無法檢測前方的輸送臺車，而且有可能將來自各制造裝置等的外裝板的反射光、來自其他的行駛臺車等的反射光誤檢測為來自在前方行駛的輸送臺車的反射光。

于是，專利文獻(xiàn)2提出了如下的距離測定裝置：在沿軌道行駛的輸送臺車的前部配置由掃描部和距離運(yùn)算部構(gòu)成的測距裝置，所述掃描部使調(diào)制后的測定光以平面狀掃描，所述距離運(yùn)算部根據(jù)由掃描部掃描出的測定光和來自檢測物的反射光之間的時間延遲來算出距檢測物的距離，通過該測距裝置根據(jù)來自在前方的行駛的輸送臺車的后部配置的回歸性反射構(gòu)件的反射光，來檢測輸送臺車間的車間距離。

該距離測定裝置具備識別部，所述識別部基于由掃描部掃描出的測定光的多個掃描角度、由距離運(yùn)算部算出的與各掃描角度對應(yīng)的距離、以及與各掃描角度對應(yīng)的反射光的強(qiáng)度中的至少任意兩者的相關(guān)關(guān)系，來識別是否為來自回歸性反射構(gòu)件的反射光。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007-25745號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2011-69671號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

然而，即使是專利文獻(xiàn)2所記載的距離測定裝置，也無法完全排除識別部將來自制造裝置等的壁面的反射光誤判斷為來自輸送臺車所具備的回歸性反射構(gòu)件的反射光的情況。