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[發(fā)明專利]用于材料處理的激光裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201880010812.0 申請(qǐng)日: 2018-03-05
公開(公告)號(hào): CN110267765B 公開(公告)日: 2021-10-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: K·沃格勒;O·吉特爾曼恩;E·比特納;J·博皮恩 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 愛爾康公司
主分類號(hào): B23K26/70 分類號(hào): B23K26/70;A61F9/008;B23K103/00
代理公司: 中國貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038 代理人: 高文靜
地址: 瑞士*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 材料 處理 激光 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于材料處理的激光裝置,所述激光裝置包括:

-脈沖激光束的源,

-檢測(cè)器系統(tǒng),所述檢測(cè)器系統(tǒng)包括第一檢測(cè)器元件和第二檢測(cè)器元件,所述第一檢測(cè)器元件和第二檢測(cè)器元件用于:對(duì)通過輻射耦合輸出而從所述激光束產(chǎn)生的多個(gè)部分光束進(jìn)行光電檢測(cè);以及提供相應(yīng)的第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào),

其中第一檢測(cè)信號(hào)基于單光子吸收,以及第二檢測(cè)信號(hào)基于雙光子吸收;以及

評(píng)估單元,所述評(píng)估單元連接至所述檢測(cè)器系統(tǒng),用于評(píng)估所述第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào),

其特征在于,所述評(píng)估單元被配置為:

計(jì)算第一檢測(cè)器元件和第二檢測(cè)器元件的第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)的商SZpd/SEpd,其中SZpd描述第二檢測(cè)器元件的第二檢測(cè)信號(hào)的時(shí)間平均值,SEpd描述第一檢測(cè)器元件的第一檢測(cè)信號(hào)的時(shí)間平均值;以及

響應(yīng)于商SZpd/SEpd的變化,追溯到第二檢測(cè)器元件的檢測(cè)表面上的激光束的光斑大小的變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置,其中,所述評(píng)估單元是控制單元的部分,評(píng)估單元被配置用于響應(yīng)于商SZpd/SEpd的變化來產(chǎn)生至少一個(gè)預(yù)定反應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光裝置,其中,所述至少一個(gè)預(yù)定反應(yīng)包括關(guān)閉所述源的操作或輸出消息。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的激光裝置,其中,所述至少一個(gè)預(yù)定反應(yīng)包括通過控制單元控制影響所述激光束的脈沖持續(xù)時(shí)間的所述激光裝置的部件,具體地控制可控脈沖壓縮器。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的激光裝置,其中,所述至少一個(gè)預(yù)定反應(yīng)包括通過控制單元控制影響所述激光束的波前的所述激光裝置的部件,具體地控制可控波片安排。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的激光裝置,進(jìn)一步包括:

-用于將所述激光束聚焦到待處理的物體上的聚焦光學(xué)器件,以及

-用于對(duì)所述激光束的焦點(diǎn)位置進(jìn)行空間控制的焦點(diǎn)控制裝置,其中,所述焦點(diǎn)控制裝置包括至少一個(gè)橫向控制元件,所述至少一個(gè)橫向控制元件安排在源與聚焦光學(xué)器件之間的所述激光束的光束路徑上,以用于對(duì)所述焦點(diǎn)位置進(jìn)行空間橫向控制,

其中,耦合輸出點(diǎn)安排在所述源與所述至少一個(gè)橫向控制元件之間的所述激光束的光束路徑上,在所述耦合輸出點(diǎn)處,從所述激光束耦合輸出輻射以獲得所述部分光束中的至少一個(gè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光裝置,進(jìn)一步包括:

-擴(kuò)束光學(xué)器件,所述擴(kuò)束光學(xué)器件安排在所述源與所述至少一個(gè)橫向控制元件之間的所述激光束的光束路徑上,其中,所述耦合輸出點(diǎn)安排在所述源與所述擴(kuò)束光學(xué)器件之間的所述激光束的光束路徑上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3中的任一項(xiàng)所述的激光裝置,進(jìn)一步包括:

-用于將所述部分光束之一聚焦到所述檢測(cè)器系統(tǒng)的檢測(cè)器元件上的聚焦透鏡,所述檢測(cè)器元件根據(jù)所述雙光子吸收原理起作用。

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1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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