[發(fā)明專利]激光介質(zhì)單元及激光裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201880010610.6 | 申請(qǐng)日: | 2018-02-05 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110291687A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-09-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 植田憲一;伊山功一;加藤義則;關(guān)根尊史;川嶋利幸 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浜松光子學(xué)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01S3/042 | 分類號(hào): | H01S3/042;H01S3/06;H01S3/0941;H01S3/10 |
| 代理公司: | 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322 | 代理人: | 楊琦 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 激光增益介質(zhì) 照射區(qū)域 第二面 反射部件 激光介質(zhì) 冷卻部件 冷卻區(qū)域 激發(fā)光 激發(fā)光照射 激光裝置 外側(cè)區(qū)域 熱連接 相反側(cè) 板狀 觀察 反射 冷卻 照射 | ||
激光介質(zhì)單元具備:板狀的激光增益介質(zhì),其具有第一面和所述第一面的相反側(cè)的第二面,通過(guò)來(lái)自所述第一面的激發(fā)光的照射而產(chǎn)生放出光;反射部件,其設(shè)置于所述第二面上,反射所述激發(fā)光及所述放出光;冷卻部件,其用于冷卻所述激光增益介質(zhì)。所述激光增益介質(zhì)具有所述激發(fā)光照射的照射區(qū)域、從與所述第一面及所述第二面交叉的厚度方向觀察位于所述照射區(qū)域的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域。所述冷卻部件通過(guò)經(jīng)由所述反射部件與所述第二面熱連接,在所述第二面上形成所述激光增益介質(zhì)的冷卻區(qū)域。所述冷卻區(qū)域的外緣從所述厚度方向觀察位于所述照射區(qū)域內(nèi)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明的一個(gè)方面涉及激光介質(zhì)單元及激光裝置。
背景技術(shù)
在專利文獻(xiàn)1中記載有激光介質(zhì)單元。該激光介質(zhì)單元具備通過(guò)照射激發(fā)光而產(chǎn)生放出光的多個(gè)板狀的激光增益介質(zhì)與使激發(fā)光及放出光的雙方透過(guò)的光學(xué)介質(zhì)接合而成的激光介質(zhì)體。另外,該激光介質(zhì)單元具備收納激光介質(zhì)體,并且具有用于冷卻激光增益介質(zhì)的冷卻介質(zhì)流路的容器。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特愿2015-167216號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問(wèn)題
在專利文獻(xiàn)1所記載的激光介質(zhì)單元中,作為一個(gè)例子,激光增益介質(zhì)為矩形板狀。于是,在激光增益介質(zhì)中,與其厚度方向交叉的一對(duì)面中的一面與光學(xué)介質(zhì)接合而作為激發(fā)光及放出光的入射出射面,并且另一面的整體與冷卻介質(zhì)流路相接而用于冷卻。特別是在該激光介質(zhì)單元中,通過(guò)調(diào)整冷卻介質(zhì)流路的截面積,控制冷卻介質(zhì)流路內(nèi)的制冷劑的流速,實(shí)現(xiàn)激光增益介質(zhì)的溫度均勻性的提高。即,在上述技術(shù)領(lǐng)域中,為了光束品質(zhì)的提高,希望降低溫度梯度所引起的熱透鏡效應(yīng)。
因此,本發(fā)明的一個(gè)方面的目的在于,提供能夠提高光束品質(zhì)的激光介質(zhì)單元及激光裝置。
解決問(wèn)題的技術(shù)手段
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明人通過(guò)進(jìn)行深入研究而獲得如下見(jiàn)解:通過(guò)控制激光增益介質(zhì)中的激發(fā)光的照射區(qū)域和用于激光增益介質(zhì)的冷卻的冷卻區(qū)域的相對(duì)關(guān)系,可降低熱透鏡效應(yīng)。即,本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了,通過(guò)將冷卻區(qū)域設(shè)為與激發(fā)光的照射區(qū)域同等以下的范圍,與冷卻比照射區(qū)域?qū)挼姆秶那闆r比較,可降低熱透鏡效應(yīng)。本發(fā)明的一個(gè)方面基于該見(jiàn)解而完成。
即,本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的激光介質(zhì)單元,具備:板狀的激光增益介質(zhì),其具有第一面和第一面的相反側(cè)的第二面,通過(guò)來(lái)自第一面的激發(fā)光的照射而產(chǎn)生放出光;反射部件,其設(shè)置于第二面上且反射激發(fā)光及放出光;冷卻部件,其用于冷卻激光增益介質(zhì),激光增益介質(zhì)具有激發(fā)光照射的照射區(qū)域、從與第一面及第二面交叉的厚度方向觀察位于照射區(qū)域的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域,冷卻部件經(jīng)由反射部件與第二面熱連接,從而在第二面上形成激光增益介質(zhì)的冷卻區(qū)域,冷卻區(qū)域的外緣從厚度方向觀察位于照射區(qū)域內(nèi)。
在該激光介質(zhì)單元中,板狀的激光增益介質(zhì)具有作為激發(fā)光的入射面的第一面、第一面的相反側(cè)的面即形成有冷卻部件的冷卻區(qū)域的第二面。另外,激光增益介質(zhì)具有激發(fā)光照射的照射區(qū)域、從厚度方向觀察位于照射區(qū)域的外側(cè)的外側(cè)區(qū)域。而且,冷卻區(qū)域的外緣從厚度方向觀察位于激發(fā)光的照射區(qū)域內(nèi)。即,在該激光介質(zhì)單元中,從激光增益介質(zhì)的厚度方向觀察,冷卻區(qū)域成為與激發(fā)光的照射區(qū)域同等以下的范圍。因此,根據(jù)該激光介質(zhì)單元,可降低熱透鏡效應(yīng)并提高光束品質(zhì)。此外,冷卻區(qū)域例如是冷卻部件和第二面經(jīng)由反射部件而相接的區(qū)域。
也可以是本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的激光介質(zhì)單元還具備用于加熱激光增益介質(zhì)的加熱部件,加熱部件在激光增益介質(zhì)的外緣部上設(shè)置于第一面以外的面上,通過(guò)對(duì)外側(cè)區(qū)域輸入熱,而加熱激光增益介質(zhì)。通過(guò)使用這樣的加熱部件,不妨礙第一面上的激發(fā)光的入射,可進(jìn)一步降低熱透鏡效應(yīng)。
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H01S3-00 激光器,即利用受激發(fā)射對(duì)紅外光、可見(jiàn)光或紫外線進(jìn)行產(chǎn)生、放大、調(diào)制、解調(diào)或變頻的器件
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