[發明專利]感光性樹脂組合物

有效

• 申請號: 201880010605.5
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN110268326B
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 櫻井隆覺
• 申請（專利權）人: 日本瑞翁株式會社
• 主分類號: G03F7/023
• 分類號: G03F7/023;C08F12/24;C08F20/10;G03F7/004;H10K50/80;H10K50/844;H10K50/10;H05B33/22
• 代理公司: 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) 11413
• 代理人: 邵秋雨;劉繼富

本發明提供一種感光性樹脂組合物，其能夠形成耐熱形狀保持性優異的正型抗蝕劑膜。本發明的感光性樹脂組合物包含具有下述通式(I)所表示的單體單元單元的聚合物和聚酰胺酰亞胺。(通式(I)中，Rsupgt;1/supgt;為化學單鍵或能夠具有取代基的碳原子數為1～6的2價烴基，Rsupgt;2/supgt;為氫原子或能夠具有取代基的碳原子數為1～6的1價烴基。)

技術領域

本發明涉及感光性樹脂組合物，特別涉及能夠形成耐熱形狀保持性優異的正型抗蝕劑膜的感光性樹脂組合物。

背景技術

在作為電子零件的一個例子的有機電致發光元件(有機EL元件)中，設有用于防止其劣化、損傷的保護膜、用于使元件表面、配線平坦化的平坦化膜、用于保持電絕緣性的電絕緣膜、用于分離發光體部的像素分離膜等各種樹脂膜。

此外，在作為電子零件的其它例子的微型LED(Light?Emitting?Diode)和微型OLED(Organic?Light?Emitting?Diode)中，也設有用于防止其劣化、損傷的保護膜、用于保持電絕緣性的電絕緣膜、用于保護內部抵御來自外部的水分、金屬離子的鈍化膜等各種樹脂膜。

往常作為用于形成這些樹脂膜的樹脂材料，廣泛使用環氧樹脂等熱固性樹脂材料。但另一方面，隨著近年配線、設備的高度密集化，這些樹脂材料中也逐漸要求透明性優異的樹脂材料。

此外，在微型LED及微型OLED中，作為往常形成這些樹脂膜的材料，廣泛使用二氧化硅、氧化鋁、氮化硅等無機材料。但隨著近年的高亮度化，這些樹脂材料中也要求透明性更優異的樹脂材料。

為滿足這類要求，提出了使用各種樹脂材料的感光性樹脂組合物。例如專利文獻1中，通過使用如下的感光性樹脂組合物，從而使靈敏度提高，并且形成透明性優異的正型抗蝕劑膜，上述感光型樹脂組合物含有聚合物、感光體及交聯劑，上述聚合物具有由特定的酚化合物形成的單體單元。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-29766號公報。

發明內容

發明要解決的問題

在此，在用于構成上述的有機電致發光元件(有機EL元件)、微型LED及微型OLED的樹脂膜中，在使其圖案化而使用的情況下，要求在加熱工序前后圖案形狀不會熔融或變形，能夠保持形狀(耐熱形狀保持性)。

但是，使用專利文獻1中記載的感光性樹脂組合物形成的正型抗蝕劑在耐熱形狀保持性方面還有改善的余地。

用于解決問題的方案

本發明人為了實現上述目的進行了深入研究。然后，本發明人新發現，當使用包含具有乙烯基苯酚單體單元的聚合物和聚酰胺酰亞胺的感光性樹脂組合物時，能夠形成耐熱形狀保持性優異的正型抗蝕劑膜，以致完成本發明。

即本發明是以有利地解決上述問題為目的，本發明的感光性樹脂組合物的特征在于，包含具有乙烯基苯酚單體單元的聚合物和聚酰胺酰亞胺。

如果使上述感光性樹脂組合物除了含有具有下述通式(I)所表示的單體單元的聚合物以外還含有聚酰胺酰亞胺，則能夠形成耐熱形狀保持性優異的正型抗蝕劑膜。

[化學式1]

(通式(I)中，R¹為化學單鍵或能夠具有取代基的碳原子數為1～6的2價烴基，R²為氫原子或能夠具有取代基的碳原子數為1～6的1價烴基。)

在此，本發明的感光性樹脂組合物優選上述聚酰胺酰亞胺為具有分支型結構的聚酰胺酰亞胺。如果聚酰胺酰亞胺為具有分支型結構的聚酰胺酰亞胺，則能夠提高與具有乙烯基苯酚單體單元的聚合物的相溶性。