[發(fā)明專利]周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201880003453.6
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN111226167B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 服部良祐;山口省一郎;下方英嗣
• 申請（專利權(quán)）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: G02F1/37
• 分類號: G02F1/37
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;李偉

1.一種周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法，在具有第一主面和第二主面的強(qiáng)介電性晶體基板上制造周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法具有以下工序:

在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第一主面上設(shè)置由多個電極片部構(gòu)成的第一電極片部排列體的工序；

通過對所述第一電極片部排列體施加電壓而形成第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的工序；

在相鄰的多個所述第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間設(shè)置由多個電極片部構(gòu)成的第二電極片部排列體的工序；以及

通過對所述第二電極片部排列體施加電壓而形成第二周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的工序，

在所述第二電極片部排列體的長度方向觀察時，所述第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的端部和所述第二電極片部排列體的端部分開1mm～5mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第一主面中，在所述電極片部間分別形成絕緣膜，在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第二主面設(shè)置均勻電極，在所述電極片部和所述均勻電極之間施加所述電壓。