[發明專利]周期極化反轉結構的制造方法有效
| 申請號： | 201880003453.6 | 申請日： | 2018-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN111226167B | 公開（公告）日： | 2022-04-22 |
| 發明（設計）人： | 服部良祐;山口省一郎;下方英嗣 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/37 | 分類號： | G02F1/37 |
| 代理公司： | 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王軼;李偉 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 周期 極化 反轉 結構 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種周期極化反轉結構的制造方法，在具有第一主面和第二主面的強介電性晶體基板上制造周期極化反轉結構，其特征在于，
所述周期極化反轉結構的制造方法具有以下工序:
在所述強介電性晶體基板的所述第一主面上設置由多個電極片部構成的第一電極片部排列體的工序；
通過對所述第一電極片部排列體施加電壓而形成第一周期極化反轉結構的工序；
在相鄰的多個所述第一周期極化反轉結構之間設置由多個電極片部構成的第二電極片部排列體的工序；以及
通過對所述第二電極片部排列體施加電壓而形成第二周期極化反轉結構的工序，
在所述第二電極片部排列體的長度方向觀察時，所述第一周期極化反轉結構的端部和所述第二電極片部排列體的端部分開1mm～5mm。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述強介電性晶體基板的所述第一主面中，在所述電極片部間分別形成絕緣膜，在所述強介電性晶體基板的所述第二主面設置均勻電極，在所述電極片部和所述均勻電極之間施加所述電壓。
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