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[發(fā)明專利]周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201880003453.6 申請日: 2018-08-30
公開(公告)號: CN111226167B 公開(公告)日: 2022-04-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 服部良祐;山口省一郎;下方英嗣 申請(專利權(quán))人: 日本礙子株式會社
主分類號: G02F1/37 分類號: G02F1/37
代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432 代理人: 王軼;李偉
地址: 日本國*** 國省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 周期 極化 反轉(zhuǎn) 結(jié)構(gòu) 制造 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法,在具有第一主面和第二主面的強(qiáng)介電性晶體基板上制造周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),其特征在于,

所述周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制造方法具有以下工序:

在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第一主面上設(shè)置由多個電極片部構(gòu)成的第一電極片部排列體的工序;

通過對所述第一電極片部排列體施加電壓而形成第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的工序;

在相鄰的多個所述第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間設(shè)置由多個電極片部構(gòu)成的第二電極片部排列體的工序;以及

通過對所述第二電極片部排列體施加電壓而形成第二周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的工序,

在所述第二電極片部排列體的長度方向觀察時,所述第一周期極化反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的端部和所述第二電極片部排列體的端部分開1mm~5mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第一主面中,在所述電極片部間分別形成絕緣膜,在所述強(qiáng)介電性晶體基板的所述第二主面設(shè)置均勻電極,在所述電極片部和所述均勻電極之間施加所述電壓。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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