[發(fā)明專利]形成介電膜的組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201880001944.7
• 申請(qǐng)日: 2018-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN109790405B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·馬利克;W·A·賴納特;O·迪莫夫;R·薩卡穆里
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富士膠片電子材料美國(guó)有限公司
• 主分類號(hào): C09D7/00
• 分類號(hào): C09D7/00;C09D7/20;C09D179/08;H01L21/762;H01L51/00
• 代理公司: 北京博思佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

1.一種形成介電膜的組合物，包含：

a)至少一種完全酰亞胺化的聚酰亞胺聚合物；

b)至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯；

c)至少一種催化劑；和

d)至少一種溶劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯的金屬原子選自由鈦、鋯、鉿和鍺組成的組。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯包含至少一個(gè)金屬原子和至少一個(gè)(甲基)丙烯酸酯基團(tuán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯包括四(甲基)丙烯酸鈦、四(甲基)丙烯酸鋯、四(甲基)丙烯酸鉿、鈦丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、鈦二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、鈦三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、鋯丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、鋯二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、鋯三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、鉿丁氧基三(甲基)丙烯酸酯、鉿二丁氧基二(甲基)丙烯酸酯、鉿三丁氧基(甲基)丙烯酸酯、鈦四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鋯四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鉿四(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鈦丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鈦二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鈦三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鋯丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鋯二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鋯三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鉿丁氧基三(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、鉿二丁氧基二(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)、或鉿三丁氧基(羧乙基(甲基)丙烯酸酯)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯的量為所述組合物的0.5重量％至20重量％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種完全酰亞胺化的聚酰亞胺聚合物的量為所述組合物的3重量％至40重量％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種催化劑包括光引發(fā)劑或熱引發(fā)劑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種催化劑的量為所述組合物的0.25重量％至4重量％。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述至少一種溶劑的量為所述組合物的35重量％至98重量％。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，還包含至少一種交聯(lián)劑。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的組合物，其中，所述交聯(lián)劑包含兩個(gè)或更多個(gè)烯基或炔基。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，還包含至少一種填料。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的組合物，其中，所述至少一種填料包含選自以下組成的組的無(wú)機(jī)顆粒：二氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦、氧化鋯、氧化鉿、CdSe、CdS、CdTe、CuO、氧化鋅、氧化鑭、氧化鈮、氧化鎢、氧化鍶、鈦酸鈣、鈦酸鈉、硫酸鋇、鈦酸鋇、鋯酸鋇和鈮酸鉀。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述組合物形成介電膜，當(dāng)通過(guò)激光燒蝕工藝圖案化所述介電膜時(shí)，所述介電膜不產(chǎn)生碎屑。

15.一種介電膜，由權(quán)利要求1所述的組合物形成。

16.一種介電膜，包含：

a)至少一種完全酰亞胺化的聚酰亞胺聚合物；

b)至少一種含金屬的(甲基)丙烯酸酯；和

c)至少一種催化劑。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的介電膜，其中，所述介電膜是能自己立住的介電膜。