[實用新型]一種電子氣體的安全生產系統

有效

• 申請號: 201822275944.6
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209663010U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 彭小磊;趙青松;蔣章;南建輝
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/64;B01D53/72
• 代理公司: 11240 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 韓建偉;梁文惠<國際申請>=<國際公布>

本實用新型提供了一種電子氣體的安全生產系統。該電子氣體的安全生產系統包括：電子氣體產生裝置；安全箱體，電子氣體產生裝置設置在安全箱體的容納腔中；氣體循環裝置，與安全箱體相連形成密閉回路以使安全箱體中的氣體循環，氣體循環裝置具有第一吸附設備用于吸附泄漏的電子氣體。將電子氣體產生裝置設置在安全箱體內，進而有效地避免了電子氣體向大氣中泄漏和擴散，同時設置氣體循環裝置對安全箱體內的氣體進行循環且利用循環裝置的第一吸附設備吸附循環氣中泄漏的電子氣體，進而更有效地避免了電子氣體向大氣中的泄漏和擴散，并且避免了氣體泄漏在安全箱體內導致安全箱體內氣壓升高導致的危險。

技術領域

本實用新型涉及電子氣體的制備領域，具體而言，涉及一種電子氣體的安全生產系統。

背景技術

電子氣體廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等。近幾年來，隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。

電子氣體的研發制備實驗是重中之重的問題，而電子氣體大多為危害氣體，因此需要嚴格控制制備、儲存以及使用過程中的氣體泄露。由于儲存和使用由于工藝要求其氣密性要求較高，因此可以很好地控制電子氣體泄露。但是電子氣體的制備一般在敞開體系中進行，因此其存在較為嚴重的泄漏問題。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種電子氣體的安全生產系統，以解決現有技術中的電子氣體制備時的泄漏問題。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種電子氣體的安全生產系統，包括：電子氣體產生裝置；安全箱體，電子氣體產生裝置設置在安全箱體的容納腔中；氣體循環裝置，與安全箱體相連形成密閉回路以使安全箱體中的氣體循環，氣體循環裝置具有第一吸附設備用于吸附泄漏的電子氣體。

進一步地，上述氣體循環裝置包括：氣體管路，與安全箱體相連形成密閉回路；風機，設置在氣體管路上；第一吸附設備，設置在風機的下游的氣體管路上。

進一步地，上述安全生產系統還包括：電子氣體輸送管路，與電子氣體產生裝置連通設置；尾氣處理裝置，與電子氣體輸送管路連通設置，尾氣處理裝置設置在安全箱體外。

進一步地，上述第一吸附設備與電子氣體輸送管路相連，且二者的接口位于尾氣處理裝置的上游。

進一步地，上述尾氣處理裝置包括：第二吸附設備；第三吸附設備，設置在第二吸附設備的下游。

進一步地，上述安全生產系統還包括：安全生產室，電子氣體產生裝置、安全箱體和氣體循環裝置設置在安全生產室內；新風系統，新風系統用于安全生產室的換氣。

進一步地，上述安全生產系統還包括第四吸附設備，第四吸附設備設置在新風系統的排風口端。

進一步地，上述安全生產室內設置有電子氣體泄漏檢測設備。

進一步地，上述安全生產系統還包括控制面板，電子氣體產生裝置具有電源控制器，控制面板與電子氣體泄漏檢測設備以及電源控制器電連接。

進一步地，上述安全箱體具有進氣口。

應用本實用新型的技術方案，將電子氣體產生裝置設置在安全箱體內，進而有效地避免了電子氣體向大氣中泄漏和擴散，同時設置氣體循環裝置對安全箱體內的氣體進行循環且利用循環裝置的第一吸附設備吸附循環氣中泄漏的電子氣體，進而更有效地避免了電子氣體向大氣中的泄漏和擴散，并且避免了氣體泄漏在安全箱體內導致安全箱體內氣壓升高導致的危險。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：