[實用新型]一種波導陣列的相差測量裝置有效
| 申請號： | 201822275859.X | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN209311049U | 公開（公告）日： | 2019-08-27 |
| 發明（設計）人： | 劉敬偉;李文玲;田立飛;張新群 | 申請（專利權）人： | 中科天芯科技（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱靜謙 |
| 地址： | 100009 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 相差測量 耦合光束 探測器 波導 波導陣列 外耦合器 相鄰陣列波導 本實用新型 探測器測量 芯片輸出端 倏逝波耦合 功率提取 輸出電流 陣列波導 相控陣 監控 單根 天線 傳輸 干涉 轉化 | ||
1.一種波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，包括監控波導和探測器(3)；所述監控波導設于相鄰陣列波導(4)之間，與所述陣列波導(4)之間通過倏逝波耦合形成耦合光束；所述耦合光束通過片外耦合器(2)傳輸至所述探測器(3)；所述探測器(3)將所述耦合光束轉化并輸出電流信號。
2.根據權利要求1所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述探測器(3)設置于所述監控波導的末端。
3.根據權利要求1所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述監控波導末端設置有光反射鏡，所述探測器(3)對應設置于所述監控波導相對于所述光反射鏡的另一側。
4.根據權利要求3所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述光反射鏡為光柵反射鏡(5)。
5.根據權利要求3所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述監控波導與所述探測器(3)之間設置有第一寬波導(6)和第二寬波導(7)；所述第一寬波導(6)為滿足絕熱近似的寬度漸變波導，所述第二寬波導(7)的寬度不同于所述監控波導的寬度。
6.根據權利要求1-5中任一項所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述探測器(3)為PD或APD。
7.根據權利要求1-5中任一項所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述探測器(3)為片上集成式探測器，所述相差測量裝置還包括片外耦合器(2)。
8.根據權利要求7中所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述片外耦合器(2)為光柵耦合器，光反射鏡。
9.根據權利要求1中所述的波導陣列的相差測量裝置，其特征在于，所述相差測量裝置設置位置靠近所述陣列波導(4)的輸出端。
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