[實(shí)用新型]一種烘烤輔助裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822274926.6
• 申請(qǐng)日: 2018-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN210014658U
• 公開（公告）日: 2020-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐虎;劉勝宇;陳方均;許明生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芯思杰技術(shù)(深圳)股份有限公司
• 主分類號(hào): F27D3/00
• 分類號(hào): F27D3/00
• 代理公司: 44481 深圳智匯遠(yuǎn)見知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 田俊峰

本實(shí)用新型涉及一種烘烤輔助裝置，包括分別可移動(dòng)的第一移動(dòng)組件和第二移動(dòng)組件；所述第二移動(dòng)組件設(shè)于所述第一移動(dòng)組件上且可隨第一移動(dòng)件移動(dòng)；所述第二移動(dòng)組件設(shè)有至少一個(gè)用于容納被烘烤物的置物腔。通過第一移動(dòng)組件和第二移動(dòng)組件的配合能夠方便被烘烤物向烘烤箱中置入以及烘烤完成的被烘烤物從烘烤箱中取出，取出后烘烤箱內(nèi)處于遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于室溫的一個(gè)高溫狀態(tài)，且取出后可立即放入后續(xù)的被烘烤物，然后可直接從上述高溫升溫至后續(xù)被烘烤物需要的烘烤溫度，減少了烘烤的時(shí)間成本，利用了每一次烘烤后烘烤箱內(nèi)的余熱，節(jié)約了能耗，提高了烘烤的效率，在烘烤箱有限，被烘烤物較多時(shí)，效果更為顯著。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及烘烤處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種烘烤輔助裝置。

背景技術(shù)

近年來，半導(dǎo)體集成電路的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)，以及各種微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)功能器件的制造越來越表現(xiàn)出趨向于大規(guī)模的特點(diǎn)。同時(shí)材料技術(shù)的發(fā)展也使各種大尺寸的半導(dǎo)體材料晶片被投入到器件制造領(lǐng)域，為了保證芯片的性能一致性和成品率，制造過程中材料和工藝的均勻性就成為了一項(xiàng)重要的參考指標(biāo)。而對(duì)于一些功能器件來說，芯片篩選后仍然需要進(jìn)行較多又復(fù)雜的工藝步驟，如需要進(jìn)行烘烤處理。芯片的烘烤時(shí)，一般是將盛有一定數(shù)量的料盤置入烘烤箱中，對(duì)料盤內(nèi)的芯片同時(shí)進(jìn)行烘烤；烘烤完成后，無論是烘烤箱內(nèi)的環(huán)境溫度，還是芯片的表面溫度，都非常高，無法直接取出，需要進(jìn)行降溫后才能取出，而且后續(xù)使用同一烘箱繼續(xù)烘烤其他被烘烤物時(shí)，還需要從降溫后的常溫重新升到需要的烘烤溫度，每一次烘烤后烘烤箱內(nèi)的余熱都被浪費(fèi)，這極大的增加了烘烤的時(shí)間成本，降低了烘烤的效率。

因此，需要提供一種烘烤輔助裝置來解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型提供了一種烘烤輔助裝置。

一種烘烤輔助裝置，包括分別可移動(dòng)的第一移動(dòng)組件和第二移動(dòng)組件；

所述第二移動(dòng)組件設(shè)于所述第一移動(dòng)組件上且可隨第一移動(dòng)件移動(dòng)；

所述第二移動(dòng)組件設(shè)有至少一個(gè)用于容納被烘烤物的置物腔。

進(jìn)一步的，所述第二移動(dòng)組件包括至少三個(gè)豎直的立柱和設(shè)于所述立柱間的至少一個(gè)置物殼；

所述置物殼包括分別與全部立柱連接且水平的底板和分別設(shè)于相鄰立柱間的側(cè)板，所述側(cè)板的下端與所述底板的邊沿固定連接，所述底板的上表面和所述側(cè)板的內(nèi)表面形成所述置物腔。

進(jìn)一步的，所述底板上設(shè)有在厚度方向上貫穿所述底板的通孔。

進(jìn)一步的，所述立柱的下端設(shè)有腳輪。

進(jìn)一步的，所述第二移動(dòng)組件包括第一立柱、第二立柱、第三立柱和第四立柱，所述底板呈矩形，所述底板的四個(gè)角分別設(shè)有與所述第一立柱、所述第二立柱、所述第三立柱和所述第四立柱水平截面一一對(duì)應(yīng)并相匹配的缺口，所述第一立柱、所述第二立柱、所述第三立柱和所述第四立柱分別設(shè)于相應(yīng)的所述缺口內(nèi)且與所述底板固定連接。

進(jìn)一步的，所述置物殼具有設(shè)于所述第二立柱和所述第四立柱間的第一側(cè)板，所述底板具有第一邊沿；

所述第一側(cè)板的下端與所述第一邊沿鉸接，所述第一側(cè)板能夠以所述第一邊沿為軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一側(cè)板的上端設(shè)有水平的主限位件，所述第二立柱和/或所述第四立柱設(shè)有副限位件。

進(jìn)一步的，所述第一移動(dòng)組件包括水平的托板、與所述托板的下表面連接的至少四個(gè)腳輪和與所述托板的邊沿連接的牽拉機(jī)構(gòu)；

所述托板的水平截面面積大于所述第一移動(dòng)組件的水平截面面積。